Çin SiC Epitaksiya Prosesi İstehsalçı, Təchizatçı, Fabrika

VeTek Semiconductor-un unikal karbid örtükləri tələbkar yarımkeçirici və kompozit yarımkeçirici materialların emalı üçün SiC Epitaksiya Prosesində qrafit hissələri üçün üstün qoruma təmin edir. Nəticə qrafit komponentinin ömrünün uzadılması, reaksiya stoxiometriyasının qorunması, epitaksiya və kristal böyüməsi tətbiqlərinə çirkin miqrasiyasının qarşısını alır, nəticədə məhsuldarlıq və keyfiyyət yüksəlir.

Bizim tantal karbid (TaC) örtüklərimiz kritik soba və reaktor komponentlərini yüksək temperaturda (2200°C-ə qədər) isti ammonyak, hidrogen, silisium buxarları və ərimiş metallardan qoruyur. VeTek Semiconductor sizin fərdi tələblərinizə cavab vermək üçün geniş çeşiddə qrafit emalı və ölçmə imkanlarına malikdir, buna görə də biz sizin və xüsusi tətbiqiniz üçün düzgün həlli dizayn etməyə hazır olan ekspert mühəndis komandamızla ödənişli örtük və ya tam xidmət təklif edə bilərik. .

Mürəkkəb yarımkeçirici kristallar

VeTek Semiconductor müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi TaC örtükləri təmin edə bilər. VeTek Semiconductor-un sənayedə aparıcı örtük prosesi vasitəsilə TaC örtüyü yüksək təmizlik, yüksək temperaturda sabitlik və yüksək kimyəvi müqavimət əldə edə bilər, beləliklə, kristal TaC/GaN) və EPl təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır və kritik reaktor komponentlərinin ömrünü uzadır.

İstilik izolyatorları

SiC, GaN və AlN kristal böyümə komponentləri, o cümlədən, tigelər, toxum tutucular, deflektorlar və filtrlər. Rezistiv qızdırıcı elementlər, ucluqlar, qoruyucu üzüklər və lehimləmə qurğuları, vafli daşıyıcıları, peyk qabları, duş başlıqları, qapaqlar və postamentlər, MOCVD komponentləri daxil olmaqla GaN və SiC epitaksial CVD reaktor komponentləri daxil olmaqla sənaye qurğuları.

Məqsəd:

LED (İşıq Yayan Diod) Gofret Daşıyıcısı

ALD (Yarımkeçirici) Qəbuledici

EPI Reseptoru (SiC Epitaksiya Prosesi)

TaC ilə örtülmüş peyk qəbuledicisi TaC Örtük Suseptor və Üzük TaC örtük hissələri TaC örtüklü yarım ay hissələri

SiC örtüklə TaC örtüyünün müqayisəsi:

	SiC	TaC
Əsas xüsusiyyətləri	Ultra yüksək təmizlik, Əla Plazma müqaviməti	Əla yüksək temperatur sabitliyi (yüksək temperatur prosesinə uyğunluq)
Saflıq	>99,9999%	>99,9999%
Sıxlıq (q/sm 3)	3.21	15
Sərtlik (kq/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Müqavimət [Ωcm]	0,1-15,000	<1
İstilik keçiriciliyi (W/m-K)	200-360	22
İstilik genişlənmə əmsalı (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Ərizə	Yarımkeçirici Avadanlıq Keramika aparatı (Fokus Halqası, Duş Başlığı, Dummy Gofret)	SiC Tək kristal artımı, Epi, UV LED Avadanlıq hissələri

View as

Tantal karbid üzük

Çində Tantal Carbide Ring məhsullarının qabaqcıl istehsalçısı və istehsalçısı olaraq, VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbid Üzük son dərəcə yüksək sərtliyə, aşınma müqavimətinə, yüksək temperatur müqavimətinə və kimyəvi sabitliyə malikdir və yarımkeçirici istehsal sahəsində geniş istifadə olunur. Xüsusilə CVD, PVD, ion implantasiya prosesində, aşındırma prosesində və vafli emalı və daşınmasında yarımkeçiricilərin emalı və istehsalı üçün əvəzsiz məhsuldur. Əlavə məsləhətləşmənizi gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

Tantal Karbid Kaplama Dəstəyi

Çində peşəkar Tantal Karbid Kaplama Dəstəyi məhsulu istehsalçısı və fabriki olaraq, VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbid Kaplama Dəstəyi adətən yarımkeçirici avadanlıqlarda struktur komponentlərin və ya dəstək komponentlərinin səthinin örtülməsi üçün, xüsusilə də yarımkeçirici istehsal proseslərində əsas avadanlıq komponentlərinin səthinin qorunması üçün istifadə olunur. CVD və PVD. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

Tantal karbid bələdçi üzük

VeTek Semiconductor, Çində Tantal Carbide Guide Ring məhsullarının peşəkar istehsalçısı və lideridir. Tantal Karbid (TaC) Bələdçi Halqamız, xüsusilə CVD, PVD, aşındırma və diffuziya kimi yüksək temperaturlu və yüksək korroziyalı mühitlərdə adətən yarımkeçirici emal avadanlıqlarında istifadə olunan tantal karbidindən hazırlanmış yüksək performanslı üzük komponentidir. VeTek Semiconductor yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir və əlavə sorğularınızı alqışlayır.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC Kaplama Fırlanma Həbçisi

Çində TaC Coating Rotation Susceptor məhsullarının peşəkar istehsalçısı, novatoru və lideri kimi. VeTek Yarımkeçirici TaC Örtmə Fırlanma Qəbuledicisi adətən kimyəvi buxar çökmə (CVD) və molekulyar şüa epitaksisi (MBE) avadanlığında vafli materialın çöküntüsünü və effektiv reaksiyanı təmin etmək üçün vafliləri dəstəkləmək və fırlatmaq üçün quraşdırılır. Yarımkeçiricilərin emalında əsas komponentdir. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

CVD TaC örtüklü pota

VeTek Semiconductor, Çində CVD TaC Coating Crucible məhsullarının peşəkar istehsalçısı və lideridir. CVD TaC Coating Crucible tantal karbon (TaC) örtüyünə əsaslanır. Tantal karbon örtüyü, istilik müqavimətini və korroziyaya davamlılığını artırmaq üçün kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə tigenin səthində bərabər şəkildə örtülür. Xüsusilə yüksək temperaturlu ekstremal mühitlərdə istifadə olunan maddi alətdir. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

CVD TaC örtüklü vafli daşıyıcı

Çində peşəkar CVD TaC örtüklü vafli daşıyıcı məhsul istehsalçısı və fabriki olaraq, VeTek Yarımkeçirici CVD TaC Kaplama Gofret Daşıyıcısı yarımkeçirici istehsalında yüksək temperatur və korroziyalı mühitlər üçün xüsusi olaraq hazırlanmış vafli daşıyıcı alətdir. və CVD TaC Coating Wafer Carrier yüksək mexaniki gücə, əla korroziyaya davamlılığa və istilik sabitliyinə malikdir və yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici cihazların istehsalı üçün lazımi zəmanət verir. Əlavə sorğularınız açıqdır.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

<1 2 3 4 5...7 >

Çində peşəkar SiC Epitaksiya Prosesi istehsalçı və təchizatçı olaraq öz zavodumuz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək üçün fərdiləşdirilmiş xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması və ya Çin istehsalı olan qabaqcıl və davamlı SiC Epitaksiya Prosesi almaq istəsəniz, bizə mesaj buraxa bilərsiniz.