Tantal Karbid Kaplama Dəstəyi

VeTek Semiconductor-un əsas funksiyasıTantal karbid (TaC) örtüyüDəstəyi yaxşılaşdırmaqdıristilik müqaviməti, aşınma müqaviməti və korroziyaya davamlılıqprosesin dəqiqliyini və etibarlılığını artırmaq və komponentlərin xidmət müddətini uzatmaq üçün Tantal Karbid Kaplama qatını örtməklə substratın. Yarımkeçiricilərin emalı sahəsində istifadə olunan yüksək performanslı örtük məhsuludur.

VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbid Kaplama Dəstəyi təxminən 9 ~ 10 Mohs sərtliyinə malikdir, yalnız almazdan sonra ikincidir. O, son dərəcə güclü aşınma müqavimətinə malikdir və emal zamanı səth aşınmasına və təsirə effektiv şəkildə müqavimət göstərə bilər və bununla da avadanlıq komponentlərinin xidmət müddətini səmərəli şəkildə uzadır. Təxminən 3880°C yüksək ərimə nöqtəsi ilə birlikdə o, tez-tez yarımkeçirici avadanlığın əsas komponentlərinin, məsələn, dayaq strukturlarının səth örtükləri, istilik müalicəsi avadanlığı, yarımkeçirici avadanlıqlarda kameralar və ya contalar kimi aşınma müqavimətini və yüksək temperaturu artırmaq üçün istifadə olunur. müqavimət.

Tantal karbidinin son dərəcə yüksək ərimə nöqtəsi təxminən 3880°C olduğu üçün yarımkeçirici emal proseslərində məsələnkimyəvi buxar çökmə (CVD)vəfiziki buxar çökmə (PVD), Güclü yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi korroziyaya davamlılığı olan TaC Kaplama, vafli istehsalında yüksək temperatur mühitləri üçün effektiv qorunma təmin edərək, avadanlıq komponentlərini effektiv şəkildə qoruya və ekstremal mühitlərdə substratın korroziyasının və ya zədələnməsinin qarşısını ala bilər. Bu xüsusiyyət həmçinin VeTek Yarımkeçiricinin Tantal Karbid Kaplama Dəstəyinin tez-tez aşındırma və korroziya proseslərində istifadə olunduğunu müəyyən edir.

Tantal Karbid Kaplama Dəstəyi də hissəciklərin çirklənməsini azaltmaq funksiyasına malikdir. Gofretin emalı zamanı səthin aşınması adətən hissəciklərin çirklənməsinə səbəb olur ki, bu da vaflinin məhsul keyfiyyətinə təsir göstərir. TaC Coating-in 9-10 Mohs sərtliyinə yaxın ekstremal məhsul xüsusiyyətləri bu aşınmanı effektiv şəkildə azalda bilər və bununla da hissəciklərin əmələ gəlməsini azalda bilər. TaC Coating-in əla istilik keçiriciliyi (təxminən 21 Vt/m·K) ilə birlikdə yüksək temperatur şəraitində yaxşı istilik keçiriciliyini saxlaya bilir və bununla da vafli istehsalının məhsuldarlığını və ardıcıllığını xeyli yaxşılaşdırır.

VeTek Semiconductor-un əsas TaC Coating məhsullarına daxildirTaC Kaplama Qızdırıcısı, CVD TaC örtüklü pota, TaC Kaplama Fırlanma HəbçisivəTaC örtük ehtiyat hissəsivə s. və fərdiləşdirilmiş məhsul xidmətlərini dəstəkləyin. VeTek Semiconductor yarımkeçirici sənayesi üçün mükəmməl məhsullar və texniki həllər təqdim etməyə sadiqdir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olacağımıza ürəkdən ümid edirik.

Mikroskopik kəsikdə tantal karbid (TaC) örtüyü:

CVD TaC örtüyünün əsas fiziki xassələri：