Çin Silikon Nitrid İstehsalçı, Təchizatçı, Fabrika

VeTek Semiconductor, Silikon Nitridin istehsalına diqqət yetirir və böyük ekspertlərdən və yüksək texniki istedadlardan ibarət tədqiqat və inkişaf komandasına malikdir. Silikon nitrid keramika ümumi keramika materiallarının sərtlik, istilik müqaviməti, aşınma müqaviməti və korroziyaya davamlılıq üstünlüklərinə malikdir və yaxşı termal şok müqaviməti, yüksək temperaturda sürünməyə müqavimət, yaxşı özünü yağlama və yaxşı kimyəvi sabitlik üstünlüklərinə malikdir və geniş yayılmışdır. yeni enerji, kimya sənayesi, aerokosmik və yarımkeçirici sahələrində istifadə olunur.

VeTek Semiconductor-un Silikon Nitrid materialları aşağıdakı görkəmli üstünlüklərə malikdir:

1. Əla kimyəvi sabitlik

Silikon nitrid keramika əla kimyəvi sabitliyə malikdir və müxtəlif güclü turşulara, qələvilərə və aşındırıcı qazlara davamlıdır. Yarımkeçirici istehsal prosesində tez-tez aşındırıcı kimyəvi maddələrlə məşğul olmaq lazımdır, Silikon nitrid keramika uzunmüddətli sabit performans zəmanəti təmin edə bilər.

2. Əla mexaniki xüsusiyyətlər

Silikon nitrid keramika yüksək sərtliyə, əla sıxılma gücünə və aşınma müqavimətinə malikdir, mexaniki gərginliyə və səth aşınmasına tab gətirə bilir, deformasiyaya və ya qırılmaya asan deyil. Bu mexaniki xüsusiyyət onu yarımkeçirici avadanlıqların struktur və texnoloji hissələri üçün material kimi çox əlverişli edir.

3. Yüksək temperaturda sabitlik

Silikon nitrid keramika yüksək temperaturlu mühitlərdə sabitliyi qoruya bilər, yumşaltmaq və ya əritmək asan deyil və yarımkeçirici istehsal prosesində yüksək temperaturda emal və işləməyə tab gətirə bilər. Bu, onu yüksək temperaturlu texnoloji avadanlıqların əsas komponentlərinin, məsələn, tutacaqlar, reaksiya kamerası komponentləri və s. istehsalında istifadə etməyə imkan verir.

4. Əla izolyasiya xüsusiyyətləri

İzolyasiya xüsusiyyətləri yarımkeçirici cihazların istehsalında vacibdir. Silikon nitrid keramika yaxşı izolyasiya xüsusiyyətlərinə malikdir, bu da dövrə komponentlərini cərəyan sızmasından və ya elektromaqnit müdaxiləsindən effektiv şəkildə təcrid edə və qoruya bilər, cihazın sabitliyini və etibarlılığını yaxşılaşdırmağa kömək edir.

5. İstilik keçiriciliyi və istilik keçiriciliyi

Silikon nitrid keramika yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir, cihazın yaratdığı istiliyi effektiv şəkildə keçirə və yaya bilər, əməliyyat prosesində cihazın temperatur sabitliyini saxlamağa kömək edir. Bu, yarımkeçirici cihazların yüksək performanslı işləməsi üçün çox vacibdir.

VeTek Semiconductor-un Silicon Nitride materiallarının günəş və yarımkeçirici sənayedə tətbiqləri əsasən aşağıdakıları əhatə edir:

1. Elektrostatik çubuqlar və aşındırma kamerasının komponentləri

Silikon nitrid keramika, əla kimyəvi dayanıqlığa və yüksək temperatura davamlılığına görə tez-tez yarımkeçiricilər istehsalında elektrostatik çubuqlar və aşındırma kamerası komponentləri üçün material kimi istifadə olunur. Elektrostatik çubuqlar vafliləri və ya alt təbəqələri düzəltmək və sabitləşdirmək üçün istifadə olunur, aşındırıcı kamera komponentləri isə aşındırıcı qazlara və yüksək temperatur mühitinə tab gətirmək üçün istifadə olunur.

2. qaz paylayıcı lövhələr və reflektorlar

Silikon nitrid keramika, həmçinin qaz paylayıcı plitələrdə və reflektorlarda yarımkeçirici avadanlıqların istehsalında istifadə olunur. Qaz paylayıcı lövhələr reaktiv və ya qoruyucu qazları reaksiya kamerasına bərabər paylamaq üçün, reflektorlar isə reaksiyanın səmərəliliyini və vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün reaksiya kamerası daxilində işığın paylanmasını və əks olunmasını optimallaşdırmaq üçün istifadə olunur.

3. Tutacaqlar və istilik komponentləri

Silikon nitrid keramika tez-tez yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında tutucular və istilik idarəetmə komponentləri kimi istifadə olunur. Avadanlığın sabit işləməsini və cihazın emal dəqiqliyini təmin etmək üçün bu komponentlər yaxşı mexaniki qüvvəyə, aşınma müqavimətinə və istilik keçiriciliyinə malik olmalıdır.

4. Kimyəvi Mexanik Cilalama (CMP) yastıqları

Silikon Nitrid keramika Kimyəvi Mexanik Cilalama (CMP) prosesində pad materialı kimi geniş istifadə olunur. Mükəmməl düzlük və aşınma müqavimətinə malikdir və yarımkeçirici vafli səthinin düzlüyünü və dəqiqliyini təmin etmək üçün cilalama prosesi zamanı sabit dəstək verə bilər.