Çin UV LED Sensor İstehsalçı, Təchizatçı, Fabrika

VeTek Semiconductor, UV LED qoruyucuları üzrə ixtisaslaşmış istehsalçıdır, LED EPI tutucularında uzun illər tədqiqat və təkmilləşdirmə və istehsal təcrübəsinə malikdir və sənayedə bir çox müştərilər tərəfindən tanınıb.

LED, yəni yarımkeçirici işıq yayan diod, onun luminessensiyasının fiziki təbiəti ondan ibarətdir ki, yarımkeçirici pn qovşağına enerji verildikdən sonra elektrik potensialının sürücüsü altında yarımkeçirici materialdakı elektronlar və dəliklər foton yaratmaq üçün birləşir. yarımkeçirici lüminesans əldə etmək. Buna görə də, epitaksial texnologiya LED-in əsaslarından və əsaslarından biridir və eyni zamanda LED-in elektrik və optik xüsusiyyətləri üçün əsas həlledici amildir.

Epitaxy (EPI) texnologiyası tək kristal materialın substratla eyni qəfəs düzümü ilə tək kristal substratda böyüməsinə aiddir. Əsas prinsip: Müvafiq temperatura qədər qızdırılan substratda (əsasən sapfir substrat, SiC substratı və Si substratı) qaz halında olan indium (In), qallium (Ga), alüminium (Al), fosfor (P) səthə idarə olunur. xüsusi bir kristal film yetişdirmək üçün substratın. Hal-hazırda, LED epitaksial təbəqənin böyümə texnologiyası əsasən MOCVD (üzvi metal kimyəvi meteoroloji çökmə) metodundan istifadə edir.

LED epitaksial substrat materialı

1. Qırmızı və sarı LED:

GaP və GaAs qırmızı və sarı LED-lər üçün geniş istifadə olunan substratlardır. GaP substratları maye fazalı epitaksiya (LPE) metodunda istifadə olunur, nəticədə 565-700 nm geniş dalğa uzunluğu əldə edilir. Qaz fazalı epitaksiya (VPE) üsulu üçün GaAsP epitaksial təbəqələri yetişdirilir, 630-650 nm arasında dalğa uzunluqları verir. MOCVD istifadə edərkən, GaAs substratları adətən AlInGaP epitaksial strukturlarının böyüməsi ilə istifadə olunur. Bu, GaAs substratlarının işıq udma çatışmazlıqlarını aradan qaldırmağa kömək edir, baxmayaraq ki, o, şəbəkə uyğunsuzluğunu təqdim edir, InGaP və AlGaInP strukturlarının böyüməsi üçün bufer təbəqələri tələb edir.

VeTek Yarımkeçirici SiC örtüklü, TaC örtüklü LED EPI qəbuledicisini təmin edir:

VEECO Qırmızı və Sarı LED EPI Susceptor LED EPI qəbuledicisində istifadə olunan TaC örtüyü

2. mavi və yaşıl LED:

GaN Substrat: GaN monokristal GaN böyüməsi üçün ideal substratdır, kristal keyfiyyətini, çip ömrünü, işıq səmərəliliyini və cərəyan sıxlığını yaxşılaşdırır. Lakin onun çətin hazırlanması onun tətbiqini məhdudlaşdırır.

Sapphire Substrate: Safir (Al2O3) GaN böyüməsi üçün ən çox yayılmış substratdır, yaxşı kimyəvi sabitlik təklif edir və görünən işığın udulması yoxdur. Bununla belə, güc çiplərinin yüksək cari işində qeyri-kafi istilik keçiriciliyi ilə bağlı problemlərlə üzləşir.

SiC Substrat: SiC, GaN artımı üçün istifadə edilən başqa bir substratdır və bazar payında ikinci yeri tutur. Yaxşı kimyəvi sabitlik, elektrik keçiriciliyi, istilik keçiriciliyi və görünən işığın udulmamasını təmin edir. Bununla belə, sapfirlə müqayisədə daha yüksək qiymətə və aşağı keyfiyyətə malikdir. SiC 380 nm-dən aşağı olan UV LED-lər üçün uyğun deyil. SiC-nin əla elektrik və istilik keçiriciliyi sapfir substratlarda güc tipli GaN LED-lərdə istilik yayılması üçün flip-chip birləşməsinə ehtiyacı aradan qaldırır. Üst və aşağı elektrod quruluşu güc tipli GaN LED cihazlarında istilik yayılması üçün effektivdir.

AMEC mavi və yaşıl LED EPI qəbuledicisi TaC örtüklü MOCVD qəbuledicisi

3. Dərin UV LED EPI:

Dərin ultrabənövşəyi (DUV) LED epitaksiyasında, dərin UV LED və ya DUV LED epitaksiyasında substrat kimi ümumi istifadə olunan kimyəvi materiallara alüminium nitrid (AlN), silisium karbid (SiC) və qalium nitridi (GaN) daxildir. Bu materiallar yaxşı istilik keçiriciliyinə, elektrik izolyasiyasına və kristal keyfiyyətinə malikdir, bu da onları yüksək güclü və yüksək temperaturlu mühitlərdə DUV LED tətbiqləri üçün uyğun edir. Substrat materialının seçimi tətbiq tələbləri, istehsal prosesləri və qiymət mülahizələri kimi amillərdən asılıdır.

SiC ilə örtülmüş dərin UV LED qoruyucu TaC ilə örtülmüş dərin UV LED qoruyucu