Silikon karbid vafli çubuq

VeTek Yarımkeçirici Silicon Carbide Gofre Chuck, xüsusilə son dərəcə yüksək dəqiqlik və etibarlılıq tələb edən yarımkeçirici emalda, yarımkeçirici istehsalının ciddi tələblərinə cavab vermək üçün Silikon Karbid materiallarının əla xüsusiyyətlərindən istifadə edir.

Yarımkeçirici emal prosesində,Silikon karbidəla yüksək temperatur müqavimətinə malikdir (1400°C-ə qədər sabit işləyə bilər), aşağı keçiriciliyə malikdir (SiC nisbətən aşağı keçiriciliyə malikdir, adətən 10^^-3S/m) və aşağı istilik genişlənmə əmsalı (təxminən 4,0 × 10^).^-6/°C), əvəzolunmaz və vacib material olan, xüsusilə Silikon Karbid vafli çubuq istehsalı üçün uyğundur.

zamanıepitaksial böyümə prosesi, yarımkeçirici materialın nazik təbəqəsi substratın üzərinə qoyulur, vahid və yüksək keyfiyyətli film çökmə təbəqələrini təmin etmək üçün vaflidən mütləq sabitlik tələb olunur. SiC Vakuum Chuck buna vaflinin hər hansı bir hərəkətinin və ya deformasiyasının qarşısını almaq üçün möhkəm, ardıcıl vakuum saxlama yaratmaqla nail olur.

Silikon karbid Wafer Chuck həmçinin termal şoka əla müqavimət göstərir. Yarımkeçiricilərin istehsalında sürətli temperatur dəyişiklikləri tez-tez baş verir və bu dalğalanmalara tab gətirə bilməyən materiallar çatlaya, əyilə və ya sıradan çıxa bilər. Silikon karbid aşağı istilik genişlənmə əmsalına malikdir və kəskin temperatur dəyişikliklərində belə öz formasını və funksiyasını qoruyub saxlaya bilir, epitaksiya prosesi zamanı vaflinin hərəkətsiz və ya yanlış hizalanmadan etibarlı qalmasını təmin edir.

Üstəlik,epitaksiya prosesitez-tez reaktiv qazlar və digər aşındırıcı kimyəvi maddələr daxildir. SiC Wafer Chuck-ın kimyəvi təsirsizliyi onun bu sərt mühitlərdən təsirlənməməsini, performansını qoruyub saxlamasını və xidmət müddətini uzatmasını təmin edir. Bu kimyəvi davamlılıq nəinki vafli çuxurun dəyişdirilməsi tezliyini azaldır, həm də yarımkeçiricilərin istehsalı prosesinin ümumi səmərəliliyini və qənaətcilliyini yaxşılaşdırmağa kömək edərək, çoxsaylı istehsal dövrlərində məhsulun ardıcıl performansını təmin edir.

VeTek Semiconductor, Çində Silicon Carbide Wafer Chuck məhsullarının aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. kimi müxtəlif növ Chuck məhsullarını təmin edə bilərikMəsaməli SiC Keramika Çubuğu, Məsaməli SiC Vakuum Çəkisi, Məsaməli Seramik Vakuum ÇəkisivəTaC örtüklü çubuq, və s. VeTek Semiconductor yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olacağımıza ürəkdən ümid edirik.

SEM DATA OF CVDSIC FİLMİNİN KRİSTAL STRUKTURU：

VeTek Yarımkeçirici Silikon Karbid Gofret Dəzgahları：