Məsaməli Seramik Vakuum Çəkisi

Çində peşəkar məsaməli keramika tozsoran istehsalçısı və tədarükçüsü olaraq, Vetek Yarımkeçiricinin Məsaməli Seramik Vakuum Çubuğu əla yüksək temperatur müqavimətinə, kimyəvi dayanıqlığa və mexaniki gücə malik silisium karbid keramika (SiC) materialından hazırlanır. Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində əvəzedilməz əsas komponentdir. Əlavə sorğularınız üçün xoş gəlmisiniz.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Vetek Semiconductor, bu materialların emal zamanı yerdəyişməməsini və əyilməməsini təmin etmək üçün vakuum adsorbsiya yolu ilə silikon vafliləri və ya digər substratları bərkitmək və saxlamaq üçün istifadə edilən məsaməli keramika vakuum çubuqunun Çin istehsalçısıdır. Vetek Semiconducto yüksək qiymət performansı ilə yüksək təmizlikdə məsaməli keramika vakuum çubuqları təmin edə bilər. Sorğuya xoş gəldiniz.

Vetek Semiconductor, müasir yarımkeçirici istehsalının ciddi tələblərinə cavab vermək üçün xüsusi olaraq hazırlanmış bir sıra əla məsaməli keramik vakuum çubuqları təklif edir. Bu daşıyıcılar təmizlik, düzlük və fərdiləşdirilə bilən qaz yolu konfiqurasiyasında əla performans göstərir.

Analoqsuz təmizlik:

Safsızlığın aradan qaldırılması: Hər bir məsaməli keramika tozsoran çubuqları çirkləri tamamilə təmizləmək və səthin yeni kimi təmiz olmasını təmin etmək üçün 1,5 saat ərzində 1200°C-də sinterlənir.

Vakuum qablaşdırma: Təmiz vəziyyəti saxlamaq üçün məsaməli Seramik Vakuum Çubuğu saxlama və daşıma zamanı çirklənmənin qarşısını almaq üçün vakuumla qablaşdırılır.

Əla Düzlük:

Bərk vafli adsorbsiya: Məsaməli Seramik Vakuum Çubuğu vafli yerləşdirmədən əvvəl və sonra müvafiq olaraq -60kPa və -70kPa adsorbsiya qüvvəsini saxlayır, vaflinin möhkəm adsorbsiyasını təmin edir və yüksək sürətli ötürmə zamanı onun düşməsinin qarşısını alır.

Dəqiq emal: Daşıyıcının arxa hissəsi tam düz səthi təmin etmək üçün dəqiqliklə işlənib və bununla da sabit vakuum möhürünü saxlayır və sızmanın qarşısını alır.

Xüsusi dizayn:

Müştəri mərkəzli: Vetek Semiconductor, səmərəliliyi və performansı optimallaşdırmaq üçün onların xüsusi proses tələblərinə cavab verən qaz yolu konfiqurasiyalarını layihələndirmək üçün müştərilərlə sıx əməkdaşlıq edir.

Ciddi Keyfiyyət Testi:

Vetek keyfiyyətini təmin etmək üçün Porous SiC Vakuum Chuck-ın hər bir parçası üzərində hərtərəfli sınaqlar aparır:

Oksidləşmə Testi: SiC Vakuum Çubuğu faktiki oksidləşmə prosesini simulyasiya etmək üçün oksigensiz mühitdə tez 900°C-ə qədər qızdırılır. Bundan əvvəl optimal performansı təmin etmək üçün daşıyıcı 1100°C-də tavlanır.

Metal qalıq testi: Çirklənmənin qarşısını almaq üçün daşıyıcı 1200°C yüksək temperaturda qızdırılır və çökdürülmüş metal çirkləri olub-olmamışdır.

Vakuum testi: Gofretli və vakuumsuz Məsaməli SiC Vakuum Çubuğu arasındakı təzyiq fərqini ölçməklə onun vakuum sızdırmazlığı ciddi şəkildə sınaqdan keçirilir. Təzyiq fərqi ±2kPa daxilində nəzarət edilməlidir.