Məsaməli SiC Vakuum Çəkisi

Vetek Yarımkeçirici Məsaməli SiC Vakuum Çubuğu əsasən əla performansa malik keramika materialı olan silisium karbidindən (SiC) ibarətdir. Məsaməli SiC Vakuum Çubuğu yarımkeçirici emal prosesində vafli dəstəyi və fiksasiya rolunu oynaya bilər. Bu məhsul vahid emiş təmin etməklə, vaflinin əyilməsinin və deformasiyasının qarşısını alaraq, emal zamanı axının düzlüyünü təmin etməklə, vafli və çəngəl arasında sıx uyğunluğu təmin edə bilər. Bundan əlavə, silisium karbidinin yüksək temperatur müqaviməti çuxurun sabitliyini təmin edə bilər və termal genişlənmə səbəbindən vaflinin düşməsinin qarşısını ala bilər. Əlavə məsləhətləşməyə xoş gəlmisiniz.

Elektronika sahəsində Porous SiC Vacuum Chuck lazer kəsmə, güc qurğuları, fotovoltaik modullar və enerji elektron komponentlərinin istehsalı üçün yarımkeçirici material kimi istifadə edilə bilər. Yüksək istilik keçiriciliyi və yüksək temperatur müqaviməti onu elektron cihazlar üçün ideal material edir. Optoelektronika sahəsində Porous SiC Vacuum Chuck lazerlər, LED qablaşdırma materialları və günəş batareyaları kimi optoelektronik cihazların istehsalı üçün istifadə edilə bilər. Onun əla optik xassələri və korroziyaya davamlılığı cihazın işini və dayanıqlığını yaxşılaşdırmağa kömək edir.

Vetek Semiconductor təmin edə bilər:

1. Təmizlik: SiC daşıyıcısının işlənməsi, həkk olunması, təmizlənməsi və son çatdırılmasından sonra, bütün çirkləri yandırmaq üçün 1,5 saat ərzində 1200 dərəcə istilənməli və sonra vakuum torbalarına qablaşdırılmalıdır.

2. Məhsulun hamarlığı: Sürətli ötürmə zamanı daşıyıcının uçmasının qarşısını almaq üçün vaflini yerləşdirməzdən əvvəl, avadanlığa yerləşdirildikdə -60kpa-dan yuxarı olmalıdır. Gofreti yerləşdirdikdən sonra -70kpa-dan yuxarı olmalıdır. Yüksüz temperatur -50kpa-dan aşağı olarsa, maşın xəbərdarlıq etməyə davam edəcək və işləyə bilməz. Buna görə də arxanın düz olması çox vacibdir.

3. Qaz yolunun dizaynı: müştəri tələblərinə uyğun olaraq hazırlanmışdır.

Müştəri testinin 3 mərhələsi:

1. Oksidləşmə testi: oksigen yoxdur (müştəri tez 900 dərəcəyə qədər qızdırır, ona görə də məhsulu 1100 dərəcə qızdırmaq lazımdır).

2. Metal qalıq testi: 1200 dərəcəyə qədər sürətlə qızdırın, vafli çirkləndirmək üçün heç bir metal çirkləri buraxılmır.

3. Vakuum testi: Gofretli və vafli olmayan təzyiq arasındakı fərq +2ka (sorma qüvvəsi) daxilindədir.

VeTek Yarımkeçirici Məsaməli SiC Vakuum Çubuğunun Xüsusiyyətləri Cədvəli:

VeTek Semiconductor Porous SiC Vakuum Chuck mağazalar:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: