Silikon Karbid Seramik Kaplama

Vetek yarımkeçirici Silikon Karbid Seramik Kaplamason dərəcə sərt və aşınmaya davamlı silisium karbid (SiC) materialdan hazırlanmış yüksək performanslı qoruyucu örtükdür, əla kimyəvi korroziyaya davamlılıq və yüksək temperaturda sabitlik təmin edir. Bu xüsusiyyətlər yarımkeçirici istehsalında çox vacibdir, buna görə də Silikon Karbid Seramik Kaplama yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarının əsas komponentlərində geniş istifadə olunur.

Vetek Yarımkeçirici Silikon Karbid Seramik Kaplamanın yarımkeçirici istehsalında oynadığı xüsusi rolaşağıdakı kimi:

Avadanlığın davamlılığını artırmaq: Silicon Carbide Ceramic Coating son dərəcə yüksək sərtliyi və aşınma müqaviməti ilə yarımkeçirici istehsal avadanlığı üçün mükəmməl səth qorunmasını təmin edir. Xüsusilə kimyəvi buxar çökmə (CVD) və plazma aşındırma kimi yüksək temperaturlu, yüksək korroziyaya məruz qalan proses mühitlərində silisium karbid keramika örtüyü kimyəvi eroziya və ya fiziki aşınma nəticəsində avadanlığın səthinin zədələnməsinin qarşısını effektiv şəkildə ala bilər və beləliklə, avadanlıqların xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır. avadanlıq və tez-tez dəyişdirmə və texniki xidmət nəticəsində yaranan fasilələrin azaldılması.

Prosesin təmizliyini yaxşılaşdırın: Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində hər hansı kiçik çirklənmə məhsulun qüsurlarına səbəb ola bilər. Silikon karbid keramika örtüyünün kimyəvi təsirsizliyi onun ekstremal şəraitdə sabit qalmasına, materialın hissəciklərin və ya çirklərin buraxılmasının qarşısını almağa və proses zamanı ətraf mühitin təmizliyini təmin etməyə imkan verir. Bu, PECVD və ion implantasiyası kimi yüksək dəqiqlik və yüksək təmizlik tələb edən istehsal mərhələləri üçün xüsusilə vacibdir.

Termal idarəetməni optimallaşdırın: Sürətli istilik emal (RTP) və oksidləşmə prosesləri kimi yüksək temperaturlu yarımkeçirici emalda, Silikon Karbid Seramik Kaplamanın yüksək istilik keçiriciliyi avadanlıq daxilində temperaturun vahid paylanmasına imkan verir. Bu, temperaturun dəyişməsi nəticəsində yaranan istilik gərginliyini və material deformasiyasını azaltmağa kömək edir və bununla da məhsulun istehsal dəqiqliyini və tutarlılığını yaxşılaşdırır.

Mürəkkəb proses mühitini dəstəkləyin: ICP aşındırma və PSS aşındırma prosesləri kimi mürəkkəb atmosfer nəzarətini tələb edən proseslərdə, silikon karbid keramika örtüklü qızdırıcının sabitliyi və oksidləşmə müqaviməti uzunmüddətli istismarda avadanlığın sabit işləməsini təmin edir, materialın və ya avadanlıqların deqradasiyası riskini azaldır. ətraf mühit dəyişiklikləri nəticəsində zərər.

Vetek yarımkeçiriciyüksək performanslı istehsal və təchizata diqqət yetirirSilikon Karbid Seramik Kaplama, və yarımkeçiricilər sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir.Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı ürəkdən ümid edirik.

Əsas fiziki xassələriSilikon Karbid Seramik Kaplama:

VeTek Yarımkeçirici Silikon Karbid Seramik Kaplama sexləri:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: