silisium karbid keramika örtük qızdırıcısı

VeTek yarımkeçiriciSilikon Karbid Seramik Kaplama Qızdırıcısı yüksək temperatur və sərt mühitlər üçün nəzərdə tutulmuş qızdırıcıdır. Avadanlığa əla istilik müqaviməti, korroziyaya davamlılıq və istilik keçiriciliyi vermək üçün qızdırıcı elementin səthinə silikon karbon keramika örtüyü (SiC) qatını örtür. 

Silikon karbid keramika örtüklü qızdırıcıəsasən vakuum örtük (buxarlanma) avadanlıqlarında istifadə olunur. Tez-tez istifadə olunan üsullar PCD (Plazma Kimyəvi Qurutma) və PVD (Fiziki buxar çökdürmə), yarımkeçiricilərin istehsalında və digər yüksək tələbatlı sənaye tətbiqlərində geniş istifadə olunur.

Silikon Karbid Seramik Kaplama Qızdırıcısının yüksək performanslı örtük dizaynı ilə birlikdə,yüksək temperatur prosesləri üçün əla istilik həllini təmin edə bilər.

Əla istilik keçiriciliyi: SiC materialı əla istilik keçiriciliyinə malikdir, qızdırıcının iş sahəsində vahid istilik paylanmasına nail olmasını və temperatur gradientlərini azaltmasını təmin edir.

Vahid istilik paylanmasını təmin edin: Silikon Karbid Seramik Kaplama Qızdırıcısı bütün istilik zonasında temperaturun bərabər paylanmasına nail olmaq üçün SiC materialının yüksək istilik keçiriciliyindən istifadə edir. Bu, sürətli istilik emal (RTP), diffuziya və oksidləşmə kimi müxtəlif yüksək temperatur proseslərində yarımkeçirici vaflilərin vahid istilik müalicəsini təmin etmək, yerli həddindən artıq istiləşmə və ya qeyri-bərabər temperatur nəticəsində məhsul qüsurlarından qaçmaq üçün çox vacibdir.

Yüksək temperatur tolerantlığı: SiC örtüyü qızdırıcının müxtəlif yüksək temperaturlu emal prosesləri üçün uyğun olan olduqca yüksək temperaturlara, adətən 1600°C-ə qədər davam etməsinə imkan verir.

İstilik müqavimətini yaxşılaşdırın: Kaplama son dərəcə yüksək temperaturlara davam edə bildiyi üçün uzunmüddətli yüksək temperaturda işləmə tələb edən proseslərdə yaxşı performans göstərir. Məsələn, kimyəvi buxar çökmə (CVD) proseslərində, Silikon Karbid Seramik Kaplama Qızdırıcısı yüksək temperaturda avadanlığın uzunmüddətli sabit işləməsini təmin edə və ardıcıl isitmə performansını saxlaya bilər, bununla da prosesin təkrarlanmasını və etibarlılığını yaxşılaşdırır.

Kimyəvi korroziyaya davamlılıq: SiC örtüyü turşuya, qələvilərə və aşındırıcı qazlara qarşı son dərəcə yüksək müqavimətə malikdir və mürəkkəb kimyəvi atmosfer mühitində uzun müddət sabit qala bilər və avadanlığın ömrünü uzadır. 

Avadanlığın ömrünün uzadılması: SiC örtüyü əla oksidləşmə müqavimətinə və korroziyaya davamlıdır və yüksək temperaturda kimyəvi aşınmaya və oksidləşməyə effektiv şəkildə müqavimət göstərə bilər. Bu, yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində, xüsusən də aşındırıcı qazlar və kimyəvi maddələrlə işləyən mühitdə çox vacibdir. Kaplamanın qoruyucu təsiri qızdırıcının xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzada bilər və avadanlıqların dəyişdirilməsi və təmir xərclərinin tezliyini azalda bilər.

Silikon karbid keramika örtüklü qızdırıcının əsas fiziki xüsusiyyətləri:

VeTek yarımkeçirici silisium karbid keramika örtüklü qızdırıcı sexləri:

VeTek yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: