silisium karbid keramika örtüklü qrafit qızdırıcısı

VeTek yarımkeçirici Silikon Karbid Seramik Kaplama Qrafit Qızdırıcısıqrafitin əla elektrik və istilik keçiriciliyini yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq və silikon karbon keramika örtüyünün aşınma müqaviməti ilə birləşdirir və sərt yarımkeçirici istehsal mühitləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. 

Silikon karbid keramika örtüklü qrafit qızdırıcısıəsasən vakuum örtmə (buxarlanma) avadanlıqlarında istifadə olunur və ümumi istifadə olunan üsullar PCD (Plazma Kimyəvi Qurutma) və PVD (Fiziki buxar çökmə) üsullarıdır. Bu məhsul texnoloji tərəqqinin təşviqində və yarımkeçirici sənayesində istehsalın səmərəliliyinin artırılmasında mühüm rol oynamışdır.Sizinlə gələcək əməkdaşlığı səmimiyyətlə gözləyirik.

Silikon Karbid Seramik Kaplama Qrafit Qızdırıcısının material və struktur xüsusiyyətləri aşağıdakılardır:

Qrafit substrat: Qrafit yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişlənmə əmsalı ilə tanınır. Temperatur dəyişikliklərinə tez reaksiya verə və yüksək temperaturda struktur sabitliyini qoruya bilər.

Silikon karbon keramika örtüyü: SiC örtüyü kimyəvi buxarın çökməsi və ya digər qabaqcıl proseslər vasitəsilə qrafit səthinə bərabər şəkildə örtülmüşdür. SiC son dərəcə yüksək sərtliyə və kimyəvi korroziyaya davamlılığa malikdir, bu da qrafit substratını yüksək temperaturlu oksidləşmədən və korroziyalı mühitlərdən qoruya bilir.

Silikon Karbid Seramik Kaplama Qrafit Qızdırıcısının xüsusi məhsul struktur dizaynı müəyyən ediryarımkeçirici emal prosesində bu məhsulun əvəzolunmaz məhsul üstünlükləri:

Effektiv və vahid istilik:

İstilik keçiriciliyi: Qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi qızdırıcıya lazımi temperatura tez çatmağa və onu saxlamağa imkan verir və SiC örtüyü istiliyin vahid paylanmasını təmin edir. Bu, sürətli istilik emal (RTP) və kimyəvi buxar çökmə (CVD) kimi dəqiq temperatur nəzarəti tələb edən yarımkeçirici proseslər üçün xüsusilə vacibdir.

Temperaturun vahidliyi: Vahid istilik paylanması vasitəsilə, Silikon Karbid Seramik Kaplama Qrafit Qızdırıcısı istilik gərginliyini və temperatur gradientini effektiv şəkildə azalda bilər, istilik prosesi boyunca yarımkeçirici vaflilərin tutarlılığını və keyfiyyət sabitliyini təmin edir.

Korroziyaya qarşı qorunma:

Kimyəvi müqavimət: SiC örtüyünün kimyəvi korroziyaya davamlılığı qızdırıcının korroziyalı qaz və kimyəvi mühitlərdə stabil və uzun müddət işləməsinə imkan verir, qrafit substratın zədələnməsinin qarşısını alır. Bu xüsusiyyət kimyəvi buxar çökmə (CVD) və plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə (PECVD) kimi proseslərdə xüsusilə vacibdir.

Oksidləşmə müqaviməti: Yüksək temperaturda SiC örtüyü qrafit substratın oksidləşməsinin qarşısını ala bilər, qızdırıcının xidmət müddətini uzadır və avadanlığa texniki xidmətin tezliyini və xərclərini azalda bilər.

Hissəciklərin çirklənməsini azaldın:

Səth sabitliyi: SiC örtüyü yalnız aşınmaya davamlı deyil, həm də istilik dövriyyəsi və ya kimyəvi reaksiyalar nəticəsində hissəciklərin material səthindən düşməsinin qarşısını alır, beləliklə, yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı baş verə biləcək hissəciklərin çirklənməsi riskini azaldır və yüksək təmizlik proses mühitini təmin edir.

Prosesin etibarlılığını və səmərəliliyini artırın:

Uzun ömürlü dizayn: Qrafitin mexaniki möhkəmliyi və SiC örtüyünün aşınma müqavimətinin birləşməsinə görə, Silikon Karbid Seramik Kaplama Qrafit Qızdırıcısı, avadanlığın ümumi etibarlılığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıraraq, çətin proses şəraitində uzun müddət yüksək səmərəli işləməyi təmin edə bilər.

Enerjidən səmərəli istifadə: Qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi və SiC örtüyünün yüksək temperaturda dayanıqlığı qızdırıcıya enerji istehlakını azaltmaqla yanaşı, temperaturun idarə edilməsinin dəqiqliyini artırmağa imkan verir və bununla da yarımkeçirici istehsalının ümumi səmərəliliyini artırır.

Əsas fiziki xassələriSilikon Karbid Seramik Kaplama Qrafit Qızdırıcısı:

VeTek yarımkeçiriciSilikon Karbid Seramik Kaplama Qrafit Qızdırıcısımağazalar:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı:

/digər-proses