Məsaməli tantal karbid

VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbid (TaC) tantal və karbonun xüsusiyyətlərini birləşdirən yüksək performanslı keramika materialıdır. Onun məsaməli strukturu yüksək temperatur və ekstremal mühitlərdə xüsusi tətbiqlər üçün çox uyğundur. TaC əla sərtliyi, istilik dayanıqlığını və kimyəvi müqaviməti özündə birləşdirərək onu yarımkeçiricilərin emalında ideal material seçimi edir.

Məsaməli Tantal Karbid (TaC) tantal (Ta) və karbondan (C) ibarətdir ki, burada tantal karbon atomları ilə güclü kimyəvi bağ əmələ gətirir və materiala son dərəcə yüksək davamlılıq və aşınma müqaviməti verir. Məsaməli TaC-nin məsaməli strukturu materialın istehsal prosesi zamanı yaradılır və məsaməlilik xüsusi tətbiq ehtiyaclarına uyğun olaraq idarə edilə bilər. Bu məhsul adətən tərəfindən istehsal olunurkimyəvi buxar çökmə (CVD)metodu, onun məsamə ölçüsünə və paylanmasına dəqiq nəzarəti təmin edir.

Tantal karbidinin molekulyar quruluşu

VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbid (TaC) aşağıdakı məhsul xüsusiyyətlərinə malikdir:

- məsaməlilik: Məsaməli struktur ona qaz diffuziyası, filtrasiya və ya idarə olunan istilik yayılması daxil olmaqla, xüsusi tətbiq ssenarilərində müxtəlif funksiyalar verir.

- Yüksək ərimə nöqtəsi: Tantal karbid son dərəcə yüksək temperaturlu mühitlər üçün uyğun olan təxminən 3,880°C-lik olduqca yüksək ərimə nöqtəsinə malikdir.

- Əla sərtlik: Məsaməli TaC almaz kimi Mohs sərtlik şkalasında təxminən 9-10 olduqca yüksək sərtliyə malikdir. , və ekstremal şəraitdə mexaniki aşınmaya qarşı dura bilir.

- İstilik sabitliyi: Tantal karbid (TaC) materialı yüksək temperaturlu mühitlərdə sabit qala bilər və yüksək temperaturlu mühitlərdə davamlı performansını təmin edərək güclü istilik sabitliyinə malikdir.

- Yüksək istilik keçiriciliyi: Gözenekliliyinə baxmayaraq, məsaməli tantal karbid hələ də yaxşı istilik keçiriciliyini saxlayır və səmərəli istilik ötürülməsini təmin edir.

- Aşağı istilik genişlənmə əmsalı: Tantal karbidinin (TaC) aşağı istilik genişlənmə əmsalı materialın əhəmiyyətli temperatur dalğalanmaları altında ölçü baxımından sabit qalmasına kömək edir və istilik gərginliyinin təsirini azaldır.

TaC örtüyünün fiziki xassələri：

Yarımkeçirici istehsalında məsaməli tantal karbid (TaC) aşağıdakı xüsusi əsas rolu oynayır.s:

kimi yüksək temperaturlu proseslərdəplazma aşındırmavə CVD, VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbid tez-tez emal avadanlıqları üçün qoruyucu örtük kimi istifadə olunur. Bu, güclü korroziyaya davamlılığı ilə əlaqədardırTaC örtüyüvə onun yüksək temperatur sabitliyi. Bu xüsusiyyətlər onun reaktiv qazlara və ya həddindən artıq temperaturlara məruz qalan səthləri effektiv şəkildə qorumasını təmin edir və bununla da yüksək temperatur proseslərinin normal reaksiyasını təmin edir.

Diffuziya proseslərində məsaməli tantal karbid yüksək temperatur proseslərində materialların qarışmasının qarşısını almaq üçün effektiv diffuziya maneəsi kimi xidmət edə bilər. Bu xüsusiyyət tez-tez ion implantasiyası və yarımkeçirici vaflilərin təmizliyinə nəzarət kimi proseslərdə əlavə maddələrin yayılmasına nəzarət etmək üçün istifadə olunur.

VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbidinin məsaməli strukturu dəqiq qaz axınına nəzarət və ya filtrasiya tələb edən yarımkeçirici emal mühitləri üçün çox uyğundur. Bu prosesdə Porous TaC əsasən qaz filtrasiyası və paylanması rolunu oynayır. Onun kimyəvi təsirsizliyi filtrasiya prosesində heç bir çirkləndiricinin daxil olmamasını təmin edir. Bu, emal edilmiş məhsulun təmizliyinə effektiv zəmanət verir.

Mikroskopik kəsikdə tantal karbid (TaC) örtüyü: