TaC Kaplama Fırlanma Həbçisi

VeTek Yarımkeçirici TaC Kaplama Rotasiya Qəbuledicisi yarımkeçiricilərin emalında vafli ilə işləmək üçün əsas komponentdir. OnunTaC Cobizimvafli emalında yüksək dəqiqliyi və yüksək keyfiyyəti təmin edən əla yüksək temperatur tolerantlığına (ərimə nöqtəsi 3880°C-ə qədər), kimyəvi sabitliyə və korroziyaya davamlılığa malikdir.

TaC Örtüyü Rotasiya Susceptor (Tantal Carbon Coating Rotation Susceptor) yarımkeçiricilərin emalında istifadə olunan əsas avadanlıq komponentidir. Adətən quraşdırılırkimyəvi buxar çökmə (CVD)və molekulyar şüa epitaksisi (MBE) avadanlığı materialın vahid çökdürülməsini və səmərəli reaksiyanı təmin etmək üçün vafliləri dəstəkləmək və fırlatmaq üçün. Bu növ məhsul substratı örtməklə yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə avadanlığın xidmət müddətini və məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır.tantal karbon (TaC) örtüyü.

TaC Örtüyü Rotasiya Susseptoru adətən TaC Örtüyü və substrat materialı kimi qrafit və ya silisium karbiddən ibarətdir. TaC son dərəcə yüksək ərimə nöqtəsinə (ərimə nöqtəsi 3880°C-ə qədər), sərtliyə (Vickers sərtliyi təxminən 2000 HK) və əla kimyəvi korroziyaya davamlılığa malik ultra yüksək temperaturlu keramika materialıdır. VeTek Semiconductor, CVD texnologiyası vasitəsilə substrat materialının üzərindəki tantal karbon örtüyünü effektiv və bərabər şəkildə əhatə edə bilər.

Fırlanma sükanı adətən yüksək istilik keçiriciliyi və yüksək möhkəmlikli materiallardan (qrafit və yasilisium karbid), yüksək temperaturlu mühitlərdə yaxşı mexaniki dəstək və istilik sabitliyi təmin edə bilər. İkisinin mükəmməl birləşməsi TaC Kaplama Rotasiya Yastiqciqının dəstəkləyici və fırlanan vaflilərdə mükəmməl performansını müəyyən edir.

TaC Coating Rotation Susceptor CVD prosesində gofreti dəstəkləyir və fırladır. TaC-nin Vickers sərtliyi təxminən 2000 HK-dır ki, bu da ona materialın təkrar sürtünməsinə müqavimət göstərməyə və yaxşı köməkçi rol oynamağa imkan verir, bununla da reaksiya qazının vafli səthində bərabər paylanmasını və materialın bərabər şəkildə çökməsini təmin edir. Eyni zamanda, TaC Coating-in yüksək temperatura davamlılığı və korroziyaya davamlılığı onu yüksək temperaturda və korroziyalı atmosferlərdə uzun müddət istifadə etməyə imkan verir ki, bu da vafli və daşıyıcının çirklənməsinin qarşısını alır.

Üstəlik, TaC-nin istilik keçiriciliyi 21 Vt / m·K təşkil edir ki, bu da yaxşı istilik ötürmə qabiliyyətinə malikdir. Buna görə də, TaC Kaplama Fırlanma Susseptoru vafli yüksək temperatur şəraitində bərabər şəkildə qızdıra bilər və fırlanma hərəkəti ilə qazın çökmə prosesinin vahidliyini təmin edə bilər, beləliklə, davamlılığı və yüksək keyfiyyətini qoruyur.wafer growth.

Mikroskopik kəsikdə tantal karbid (TaC) örtüyü：

TaC örtüyünün fiziki xassələri：

TaC Coating Rotation Susceptor mağazaları: