TaC örtük ehtiyat hissəsi

VeTek Semiconductor, Çində TaC Kaplama Plate və digər TaC Coating ehtiyat hissələrinin peşəkar istehsalçısıdır. TaC Örtüyü hazırda əsasən silisium karbid monokristal artımı (PVT üsulu), epitaksial disk (silisium karbid epitaksisi, LED epitaksisi) və s. kimi proseslərdə istifadə olunur. Coating Plate TaC Coating ehtiyat hissələri üçün etalon oldu. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşımız olmağınızı gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

VeTek yarımkeçiriciTaC örtük lövhəsigeniş istifadə olunan xüsusi materialdıryarımkeçiriciistehsal prosesi. Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti, yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılığı, aşağı sürtünmə əmsalı və yaxşı istilik keçiriciliyi ilə birlikdə TaC Kaplama Plitəsi yarımkeçiricilərin emalının bir çox hissəsində əvəzsiz rol oynayır.

Ümumiyyətlə, tətbiqləriTaC örtüklü lövhələryarımkeçirici emalda aşağıdakılardır:

CVD/ALD böyümə substratı: TaC ilə örtülmüş lövhələrin yüksək temperatura davamlılığı, kimyəvi sabitliyi və aşağı sürtünmə əmsalı onları ideal CVD/ALD böyümə substratı edir. Filmin vahidliyini və sıxlığını təmin etmək üçün sabit böyümə mühitini təmin edə bilər.

Ovma maskası lövhəsi: TaC ilə örtülmüş plitələrin yüksək sərtliyi və korroziyaya davamlılığı onlara plazma aşındırma kimi yüksək enerjili proseslərə, aşındırma maskası lövhələri kimi əsas filmi qorumağa imkan verir.

CMP cilalama yastığı: TaC ilə örtülmüş lövhələrin aşınma müqaviməti və aşağı sürtünmə əmsalı onları CMP cilalama yastıqları üçün ideal materiallara çevirir ki, bu da filmin səthindəki hissəcikləri və qüsurları effektiv şəkildə aradan qaldıra bilir.

Yüksək temperaturlu soba borusu: TaC ilə örtülmüş plitələrin yüksək temperatura davamlılığı və korroziyaya davamlılığı onları yüksək temperaturda tavlama, diffuziya və digər proseslər üçün yüksək temperaturlu sobalarda soba boruları kimi istifadə etməyə imkan verir.

Məhsulun xüsusiyyətləri ilə birləşdirilirTaC örtük lövhəsi, bu məhsulun cihazın işinin yaxşılaşdırılmasında, avadanlığın ömrünün uzadılmasında və istehsal səmərəliliyinin artırılmasında əvəzolunmaz əsas rol oynadığını müəyyən edir.

Peşəkar istehsalçı kimiSiC epi qəbuledicisində GaN, Məsaməli qrafitvəTaC örtük lövhəsiÇində VeTek Semiconductor həmişə fərdiləşdirilmiş məhsul xidmətləri göstərməkdə israr edir və sənayeni ən yaxşı texnologiya və məhsul həlləri ilə təmin etməyə sadiqdir. Biz sizin növbəti məsləhətləşmənizi ürəkdən gözləyirik.

CVD TAC COATING Texniki Parametrlər：