TaC Kaplama Fırlanma Plitəsi

VeTek Yarımkeçiricilərin TaC Örtmə Fırlanma Plitəsi görkəmli TaC örtüyünə malikdir, müstəsna TaC örtüyü ilə TaC Kaplama Fırlanma Plitəsi diqqətəlayiq yüksək temperatur müqavimətinə və kimyəvi təsirsizliyə malikdir, bu da onu ənənəvi həllərdən fərqləndirir. qiymətlər və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

VeTek Semiconductor-un TaC örtüklü Rotation Plate yüksək təmizlik tərkibinə, 5 ppm-dən az çirk tərkibinə və LPE EPI sistemlərində, Aixtron sistemlərində, Nuflare sistemlərində, TEL CVD sistemlərində, VEECO sistemlərində, TSI-də geniş istifadə olunan sıx və vahid quruluşa malikdir. sistemləri.

Əla mexaniki xüsusiyyətlər:

2300HV-ə qədər örtük sərtliyi, əla aşınma müqaviməti ilə.

Kaplama və substrat arasında yapışma güclüdür və düşmək və ya soymaq asan deyil.

Kaplama hələ də yüksək temperaturda yaxşı struktur sabitliyini saxlaya bilir.

Əla korroziya müqaviməti:

TaC materialının özü əla kimyəvi dayanıqlığa və korroziyaya davamlılığa malikdir.

VeTek yarımkeçirici örtükləri müxtəlif aqressiv qaz mühitlərində yaxşı işləyir.

Avadanlığın daxili komponentlərini korroziya zədələrindən effektiv şəkildə qoruya bilər.

Yüksək səth bitirmə:

VeTek yarımkeçirici istənilən bitirməni əldə etmək üçün dəqiq bir örtük prosesindən istifadə edir.

Aşağı səth pürüzlülüyü hissəciklərin yığılmasını və çökməsini azaltmağa kömək edir.

Kaplamanın tutarlılığı yaxşıdır:

VeTek Semiconductor, partiyalar arasında ardıcıl performansı təmin etmək üçün səs keyfiyyətinə nəzarət sisteminə malikdir.

Kaplamanın qalınlığı bərabər paylanır və aşkar yerli qüsurlar yoxdur.

Əla praktik tətbiq performansı:

VeTek yarımkeçiricinin TaC örtüyü ölkədə və xaricdə bir çox tanınmış epitaksial avadanlıq istehsalçılarında geniş istifadə olunur.

TaC örtüklü fırlanma lövhəsinin məhsul parametri:

TaC örtüyünün fiziki xassələri
Sıxlıq	14,3 (q/sm³)
Xüsusi emissiya	0.3
Termal genişlənmə əmsalı	6.3 10-6/K
Sərtlik (HK)	2000 HK
Müqavimət	1×10-5 Ohm*sm
İstilik sabitliyi	<2500 ℃
Qrafit ölçüsü dəyişir	-10~-20um
Kaplama qalınlığı	≥20um tipik dəyər (35um±10um)