VeTek Semiconductor-un unikal karbid örtükləri tələbkar yarımkeçirici və kompozit yarımkeçirici materialların emalı üçün SiC Epitaksiya Prosesində qrafit hissələri üçün üstün qoruma təmin edir. Nəticə qrafit komponentinin ömrünün uzadılması, reaksiya stoxiometriyasının qorunması, epitaksiya və kristal böyüməsi tətbiqlərinə çirkin miqrasiyasının qarşısını alır, nəticədə məhsuldarlıq və keyfiyyət yüksəlir.
Bizim tantal karbid (TaC) örtüklərimiz kritik soba və reaktor komponentlərini yüksək temperaturda (2200°C-ə qədər) isti ammonyak, hidrogen, silisium buxarları və ərimiş metallardan qoruyur. VeTek Semiconductor sizin fərdi tələblərinizə cavab vermək üçün geniş çeşiddə qrafit emalı və ölçmə imkanlarına malikdir, buna görə də biz sizin və xüsusi tətbiqiniz üçün düzgün həlli dizayn etməyə hazır olan ekspert mühəndis komandamızla ödənişli örtük və ya tam xidmət təklif edə bilərik. .
Mürəkkəb yarımkeçirici kristallar
VeTek Semiconductor müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi TaC örtükləri təmin edə bilər. VeTek Semiconductor-un sənayedə aparıcı örtük prosesi vasitəsilə TaC örtüyü yüksək təmizlik, yüksək temperaturda sabitlik və yüksək kimyəvi müqavimət əldə edə bilər, beləliklə, kristal TaC/GaN) və EPl təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır və kritik reaktor komponentlərinin ömrünü uzadır.
İstilik izolyatorları
SiC, GaN və AlN kristal böyümə komponentləri, o cümlədən, tigelər, toxum tutucular, deflektorlar və filtrlər. Rezistiv qızdırıcı elementlər, ucluqlar, qoruyucu üzüklər və lehimləmə qurğuları, vafli daşıyıcıları, peyk qabları, duş başlıqları, qapaqlar və postamentlər, MOCVD komponentləri daxil olmaqla GaN və SiC epitaksial CVD reaktor komponentləri daxil olmaqla sənaye qurğuları.
LED (İşıq Yayan Diod) Gofret Daşıyıcısı
ALD (Yarımkeçirici) Qəbuledici
EPI Reseptoru (SiC Epitaksiya Prosesi)
TaC ilə örtülmüş peyk qəbuledicisi TaC Örtük Suseptor və Üzük TaC örtük hissələri TaC örtüklü yarım ay hissələri
SiC | TaC | |
Əsas xüsusiyyətləri | Ultra yüksək təmizlik, Əla Plazma müqaviməti | Əla yüksək temperatur sabitliyi (yüksək temperatur prosesinə uyğunluq) |
Saflıq | >99,9999% | >99,9999% |
Sıxlıq (q/sm 3) | 3.21 | 15 |
Sərtlik (kq/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Müqavimət [Ωcm] | 0,1-15,000 | <1 |
İstilik keçiriciliyi (W/m-K) | 200-360 | 22 |
İstilik genişlənmə əmsalı (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Ərizə | Yarımkeçirici Avadanlıq Keramika aparatı (Fokus Halqası, Duş Başlığı, Dummy Gofret) | SiC Tək kristal artımı, Epi, UV LED Avadanlıq hissələri |
VeTek Semiconductor, Çində LPE istehsalçısı və yenilikçi üçün geniş miqyaslı Tantal Karbid Kaplamalı Yarım Ay Hissəsidir. Biz uzun illərdir TaC örtüyü üzrə ixtisaslaşmışıq. Məhsullarımız 2000 dərəcə Selsidən yuxarı temperaturlara dözə bilir, istehlak materiallarının ömrünü uzadır. Biz səbirsizliklə gözləyirik. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmaq.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Yarımkeçirici Çində aparıcı Tantal Karbid Kaplamalı Planet Fırlanma Disk istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir keramika örtükləri üzrə ixtisaslaşmışıq. Məhsullarımız yüksək təmizliyə və yüksək temperatura davamlılığa malikdir. Çin.
Daha çox oxuSorğu göndərin