Çin SiC Epitaksiya Prosesi İstehsalçı, Təchizatçı, Fabrika

VeTek Semiconductor-un unikal karbid örtükləri tələbkar yarımkeçirici və kompozit yarımkeçirici materialların emalı üçün SiC Epitaksiya Prosesində qrafit hissələri üçün üstün qoruma təmin edir. Nəticə qrafit komponentinin ömrünün uzadılması, reaksiya stoxiometriyasının qorunması, epitaksiya və kristal böyüməsi tətbiqlərinə çirkin miqrasiyasının qarşısını alır, nəticədə məhsuldarlıq və keyfiyyət yüksəlir.

Bizim tantal karbid (TaC) örtüklərimiz kritik soba və reaktor komponentlərini yüksək temperaturda (2200°C-ə qədər) isti ammonyak, hidrogen, silisium buxarları və ərimiş metallardan qoruyur. VeTek Semiconductor sizin fərdi tələblərinizə cavab vermək üçün geniş çeşiddə qrafit emalı və ölçmə imkanlarına malikdir, buna görə də biz sizin və xüsusi tətbiqiniz üçün düzgün həlli dizayn etməyə hazır olan ekspert mühəndis komandamızla ödənişli örtük və ya tam xidmət təklif edə bilərik. .

Mürəkkəb yarımkeçirici kristallar

VeTek Semiconductor müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi TaC örtükləri təmin edə bilər. VeTek Semiconductor-un sənayedə aparıcı örtük prosesi vasitəsilə TaC örtüyü yüksək təmizlik, yüksək temperaturda sabitlik və yüksək kimyəvi müqavimət əldə edə bilər, beləliklə, kristal TaC/GaN) və EPl təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır və kritik reaktor komponentlərinin ömrünü uzadır.

İstilik izolyatorları

SiC, GaN və AlN kristal böyümə komponentləri, o cümlədən, tigelər, toxum tutucular, deflektorlar və filtrlər. Rezistiv qızdırıcı elementlər, ucluqlar, qoruyucu üzüklər və lehimləmə qurğuları, vafli daşıyıcıları, peyk qabları, duş başlıqları, qapaqlar və postamentlər, MOCVD komponentləri daxil olmaqla GaN və SiC epitaksial CVD reaktor komponentləri daxil olmaqla sənaye qurğuları.

Məqsəd:

LED (İşıq Yayan Diod) Gofret Daşıyıcısı

ALD (Yarımkeçirici) Qəbuledici

EPI Reseptoru (SiC Epitaksiya Prosesi)

TaC ilə örtülmüş peyk qəbuledicisi TaC Örtük Suseptor və Üzük TaC örtük hissələri TaC örtüklü yarım ay hissələri

SiC örtüklə TaC örtüyünün müqayisəsi:

	SiC	TaC
Əsas xüsusiyyətləri	Ultra yüksək təmizlik, Əla Plazma müqaviməti	Əla yüksək temperatur sabitliyi (yüksək temperatur prosesinə uyğunluq)
Saflıq	>99,9999%	>99,9999%
Sıxlıq (q/sm 3)	3.21	15
Sərtlik (kq/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Müqavimət [Ωcm]	0,1-15,000	<1
İstilik keçiriciliyi (W/m-K)	200-360	22
İstilik genişlənmə əmsalı (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Ərizə	Yarımkeçirici Avadanlıq Keramika aparatı (Fokus Halqası, Duş Başlığı, Dummy Gofret)	SiC Tək kristal artımı, Epi, UV LED Avadanlıq hissələri

View as

CVD TaC örtük daşıyıcısı

VeTek Semiconductor-un CVD TaC örtük daşıyıcısı əsasən yarımkeçirici istehsalının epitaksial prosesi üçün nəzərdə tutulub. CVD TaC örtük daşıyıcısının Ultra yüksək ərimə nöqtəsi, əla korroziyaya davamlılığı və əla istilik sabitliyi bu məhsulun yarımkeçirici epitaksial prosesdə əvəzsizliyini müəyyən edir. Sizinlə uzunmüddətli işgüzar əlaqələr qurmağa səmimi qəlbdən ümid edirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC örtüklü bələdçi halqası

VeTek Yarımkeçiricinin TaC Örtmə Bələdçisi Üzüyü kimyəvi buxar çökmə (CVD) adlanan yüksək təkmil texnikadan istifadə edərək qrafit hissələrinə tantal karbid örtük tətbiq etməklə yaradılmışdır. Bu üsul yaxşı qurulmuşdur və müstəsna örtük xüsusiyyətləri təklif edir. TaC Coating Guide Ring istifadə edərək, qrafit komponentlərinin istifadə müddəti əhəmiyyətli dərəcədə uzadıla bilər, qrafit çirklərinin hərəkəti dayandırıla bilər və SiC və AIN monokristal keyfiyyətini etibarlı şəkildə saxlamaq olar. Bizi sorğulamağa xoş gəlmisiniz.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC ilə örtülmüş qrafit tutucu

VeTek Semiconductor-un TaC Örtülü Qrafit Susseptoru qrafit hissələrinin səthində tantal karbid örtüyü hazırlamaq üçün kimyəvi buxar çökmə (CVD) üsulundan istifadə edir. Bu proses ən yetkindir və ən yaxşı örtük xüsusiyyətlərinə malikdir. TaC ilə örtülmüş qrafit həzm cihazı qrafit komponentlərinin xidmət müddətini uzada bilər, qrafit çirklərinin miqrasiyasını maneə törədir və epitaksiya keyfiyyətini təmin edə bilər. VeTek Semiconductor sorğunuzu səbirsizliklə gözləyir.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC Örtük Qəbuledici

VeTek Yarımkeçirici TaC Örtük Susseptorunu təqdim edir. Müstəsna TaC örtüyü ilə bu qəbuledici onu ənənəvi həllərdən fərqləndirən çoxlu üstünlüklər təklif edir. Mövcud sistemlərə problemsiz inteqrasiya edən VeTek Semiconductor-dan TaC Örtük Susseptoru uyğunluq və səmərəli işləməyə zəmanət verir. Onun etibarlı performansı və yüksək keyfiyyətli TaC örtüyü SiC epitaksi proseslərində ardıcıl olaraq müstəsna nəticələr verir. Biz rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqik və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC Kaplama Fırlanma Plitəsi

VeTek Yarımkeçiricilərin TaC Örtmə Fırlanma Plitəsi görkəmli TaC örtüyünə malikdir, müstəsna TaC örtüyü ilə TaC Kaplama Fırlanma Plitəsi diqqətəlayiq yüksək temperatur müqavimətinə və kimyəvi təsirsizliyə malikdir, bu da onu ənənəvi həllərdən fərqləndirir. qiymətlər və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC örtük lövhəsi

VeTek Semiconductor-un TaC Kaplama Plitəsi müstəsna xüsusiyyətlər və üstünlüklər təklif edən əlamətdar məhsuldur. Dəqiqliklə dizayn edilmiş və mükəmməllik üçün hazırlanmış TaC Kaplama Plakamız xüsusi olaraq silisium karbid (SiC) monokristal böyümə proseslərində müxtəlif tətbiqlər üçün uyğunlaşdırılmışdır. TaC Örtük Plitəsinin dəqiq ölçüləri və möhkəm konstruksiyası mövcud sistemlərə inteqrasiyanı asanlaşdırır və qüsursuz uyğunluğu təmin edir. və səmərəli əməliyyat. Onun etibarlı performansı və yüksək keyfiyyətli örtüyü SiC kristal artım tətbiqlərində ardıcıl və vahid nəticələrə kömək edir. Biz rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqik və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

<...2 3 4 5 6...7 >

Çində peşəkar SiC Epitaksiya Prosesi istehsalçı və təchizatçı olaraq öz zavodumuz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək üçün fərdiləşdirilmiş xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması və ya Çin istehsalı olan qabaqcıl və davamlı SiC Epitaksiya Prosesi almaq istəsəniz, bizə mesaj buraxa bilərsiniz.