Çin SiC Epitaksiya Prosesi İstehsalçı, Təchizatçı, Fabrika

VeTek Semiconductor-un unikal karbid örtükləri tələbkar yarımkeçirici və kompozit yarımkeçirici materialların emalı üçün SiC Epitaksiya Prosesində qrafit hissələri üçün üstün qoruma təmin edir. Nəticə qrafit komponentinin ömrünün uzadılması, reaksiya stoxiometriyasının qorunması, epitaksiya və kristal böyüməsi tətbiqlərinə çirkin miqrasiyasının qarşısını alır, nəticədə məhsuldarlıq və keyfiyyət yüksəlir.

Bizim tantal karbid (TaC) örtüklərimiz kritik soba və reaktor komponentlərini yüksək temperaturda (2200°C-ə qədər) isti ammonyak, hidrogen, silisium buxarları və ərimiş metallardan qoruyur. VeTek Semiconductor sizin fərdi tələblərinizə cavab vermək üçün geniş çeşiddə qrafit emalı və ölçmə imkanlarına malikdir, buna görə də biz sizin və xüsusi tətbiqiniz üçün düzgün həlli dizayn etməyə hazır olan ekspert mühəndis komandamızla ödənişli örtük və ya tam xidmət təklif edə bilərik. .

Mürəkkəb yarımkeçirici kristallar

VeTek Semiconductor müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi TaC örtükləri təmin edə bilər. VeTek Semiconductor-un sənayedə aparıcı örtük prosesi vasitəsilə TaC örtüyü yüksək təmizlik, yüksək temperaturda sabitlik və yüksək kimyəvi müqavimət əldə edə bilər, beləliklə, kristal TaC/GaN) və EPl təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır və kritik reaktor komponentlərinin ömrünü uzadır.

İstilik izolyatorları

SiC, GaN və AlN kristal böyümə komponentləri, o cümlədən, tigelər, toxum tutucular, deflektorlar və filtrlər. Rezistiv qızdırıcı elementlər, ucluqlar, qoruyucu üzüklər və lehimləmə qurğuları, vafli daşıyıcıları, peyk qabları, duş başlıqları, qapaqlar və postamentlər, MOCVD komponentləri daxil olmaqla GaN və SiC epitaksial CVD reaktor komponentləri daxil olmaqla sənaye qurğuları.

Məqsəd:

LED (İşıq Yayan Diod) Gofret Daşıyıcısı

ALD (Yarımkeçirici) Qəbuledici

EPI Reseptoru (SiC Epitaksiya Prosesi)

TaC ilə örtülmüş peyk qəbuledicisi TaC Örtük Suseptor və Üzük TaC örtük hissələri TaC örtüklü yarım ay hissələri

SiC örtüklə TaC örtüyünün müqayisəsi:

	SiC	TaC
Əsas xüsusiyyətləri	Ultra yüksək təmizlik, Əla Plazma müqaviməti	Əla yüksək temperatur sabitliyi (yüksək temperatur prosesinə uyğunluq)
Saflıq	>99,9999%	>99,9999%
Sıxlıq (q/sm 3)	3.21	15
Sərtlik (kq/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Müqavimət [Ωcm]	0,1-15,000	<1
İstilik keçiriciliyi (W/m-K)	200-360	22
İstilik genişlənmə əmsalı (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Ərizə	Yarımkeçirici Avadanlıq Keramika aparatı (Fokus Halqası, Duş Başlığı, Dummy Gofret)	SiC Tək kristal artımı, Epi, UV LED Avadanlıq hissələri

View as

TaC Kaplama Qızdırıcısı

VeTek Semiconductor Çində TaC Kaplama Qızdırıcısının aparıcı istehsalçısı və novatorudur. Bu məhsul son dərəcə yüksək ərimə nöqtəsinə malikdir (təxminən 3880°C). TaC Kaplama Qızdırıcısının yüksək ərimə nöqtəsi ona son dərəcə yüksək temperaturlarda, xüsusən də metal üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) prosesində qalium nitridin (GaN) epitaksial təbəqələrinin böyüməsində işləməyə imkan verir. VeTek Semiconductor yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC örtüklü çəngəl

Çində peşəkar TaC örtüklü çubuq istehsalçısı və təchizatçısı kimi VeTek Semiconductor-un TaC Coating Chuck xüsusi olaraq yarımkeçirici sobalar üçün nəzərdə tutulub. Yüksək temperatura davamlılığı, kimyəvi təsirsizliyi və əla performansı ilə Vetek Semiconductor-un innovativ texnologiyası yüksək keyfiyyətli istehsal standartlarını təmin etmək üçün yarımkeçiricilər istehsalı sənayesi üçün etibarlı həll yolu təqdim edir. İnanırıq ki, məhsullarımız sizə qabaqcıl texnologiya və yüksək keyfiyyətli məhsul həlləri gətirə bilər.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC örtük borusu

Çində peşəkar TaC Kaplama Borusu istehsalçısı və təchizatçısı olaraq, VeTek Semiconductor-un TaC örtük borusu silisium karbid monokristallarının uğurlu böyüməsi üçün əsas komponentdir. Yüksək temperatura davamlılığı, kimyəvi təsirsizliyi və əla performansı ilə ardıcıl nəticələrlə yüksək keyfiyyətli kristalların istehsalını təmin edir. PVT metodunuzun SiC kristal artım prosesini təkmilləşdirmək və əla nəticələr əldə etmək üçün innovativ həllərimizə etibar edin. Bizi sorğulamağa xoş gəlmisiniz.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

CVD TAC örtüyü

VeTek Semiconductor Çində CVD TAC Coating aparıcı istehsalçısı, novatoru və lideridir. Uzun illərdir ki, biz CVD TaC örtük örtüyü, CVD TaC örtük üzük, CVD TaC örtük daşıyıcısı və s. kimi müxtəlif CVD TAC Örtük məhsullarına diqqət yetiririk. VeTek Yarımkeçirici fərdiləşdirilmiş məhsul xidmətlərini və qənaətbəxş məhsul qiymətlərini dəstəkləyir və bundan sonra da sizi gözləyir. məsləhətləşmə.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

TaC örtük ehtiyat hissəsi

VeTek Semiconductor, Çində TaC Kaplama Plate və digər TaC Coating ehtiyat hissələrinin peşəkar istehsalçısıdır. TaC Örtüyü hazırda əsasən silisium karbid monokristal artımı (PVT üsulu), epitaksial disk (silisium karbid epitaksisi, LED epitaksisi) və s. kimi proseslərdə istifadə olunur. Coating Plate TaC Coating ehtiyat hissələri üçün etalon oldu. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşımız olmağınızı gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

SiC epi qəbuledicisində GaN

VeTek Semiconductor, Çində SiC epi susseptorunda GaN, CVD SiC örtük və CVD TAC COATING qrafit reseptorunun peşəkar istehsalçısıdır. Onların arasında SiC epi susseptorunda GaN yarımkeçiricilərin emalında mühüm rol oynayır. Mükəmməl istilik keçiriciliyi, yüksək temperaturda emal qabiliyyəti və kimyəvi sabitliyi sayəsində GaN epitaksial böyümə prosesinin yüksək səmərəliliyini və material keyfiyyətini təmin edir. Biz sizin növbəti məsləhətləşmənizi ürəkdən gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

<1 2 3 4 5...7 >

Çində peşəkar SiC Epitaksiya Prosesi istehsalçı və təchizatçı olaraq öz zavodumuz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək üçün fərdiləşdirilmiş xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması və ya Çin istehsalı olan qabaqcıl və davamlı SiC Epitaksiya Prosesi almaq istəsəniz, bizə mesaj buraxa bilərsiniz.