CVD TAC örtüyü

VeTek Semiconductor Çində CVD TAC Coating aparıcı istehsalçısı, novatoru və lideridir. Uzun illərdir ki, biz CVD TaC örtük örtüyü, CVD TaC örtük üzük, CVD TaC örtük daşıyıcısı və s. kimi müxtəlif CVD TAC Örtük məhsullarına diqqət yetiririk. VeTek Yarımkeçirici fərdiləşdirilmiş məhsul xidmətlərini və qənaətbəxş məhsul qiymətlərini dəstəkləyir və bundan sonra da sizi gözləyir. məsləhətləşmə.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

CVD TaC örtüyü (kimyəvi buxar çökmə tantal karbid örtüyü) əsasən tantal karbidindən (TaC) ibarət örtük məhsuludur. TaC örtüyü son dərəcə yüksək sərtliyə, aşınma müqavimətinə və yüksək temperatur müqavimətinə malikdir, bu da onu əsas avadanlıq komponentlərini qorumaq və prosesin etibarlılığını artırmaq üçün ideal seçim edir. Yarımkeçiricilərin emalında əvəzsiz materialdır.

CVD TaC Coating məhsulları adətən reaksiya kameralarında, vafli daşıyıcılarda və aşındırma avadanlıqlarında istifadə olunur və onlarda aşağıdakı əsas rolları oynayır.

CVD TaC örtüyü tez-tez substratlar, divar panelləri və qızdırıcı elementlər kimi reaksiya kameralarının daxili komponentləri üçün istifadə olunur. Mükəmməl yüksək temperatur müqaviməti ilə birlikdə yüksək temperaturun, aşındırıcı qazların və plazmanın aşınmasına təsirli şəkildə müqavimət göstərə bilər və bununla da avadanlığın xidmət müddətini effektiv şəkildə uzadır və prosesin sabitliyini və məhsul istehsalının saflığını təmin edir.

Bundan əlavə, TaC ilə örtülmüş vafli daşıyıcılar (kvars qayıqları, qurğular və s. kimi) də əla istilik müqavimətinə və kimyəvi korroziyaya davamlıdır. Gofret daşıyıcısı yüksək temperaturda vafli üçün etibarlı dəstək təmin edə, vaflinin çirklənməsinin və deformasiyasının qarşısını ala bilər və bununla da ümumi çip məhsuldarlığını yaxşılaşdıra bilər.

Üstəlik, VeTek Semiconductor-un TaC örtüyü plazma aşındırıcıları, kimyəvi buxar çökdürmə sistemləri və s. kimi müxtəlif aşındırma və nazik təbəqə çökdürmə avadanlıqlarında geniş istifadə olunur. Bu emal sistemlərində CVD TAC örtüyü yüksək enerjili ion bombardmanına və güclü kimyəvi reaksiyalara tab gətirə bilər. , bununla da prosesin dəqiqliyini və təkrarlanmasını təmin edir.

Xüsusi tələbləriniz nə olursa olsun, biz sizin CVD TAC Coating ehtiyaclarınız üçün ən yaxşı həlli uyğunlaşdıracağıq və istənilən vaxt məsləhətləşmənizi gözləyirik.

CVD TAC Kaplamasının əsas fiziki xüsusiyyətləri:

TaC örtüyünün fiziki xassələri
Sıxlıq	14,3 (q/sm³)
Xüsusi emissiya	0.3
Termal genişlənmə əmsalı	6.3 10-6/K
Sərtlik (HK)	2000 HK
Müqavimət	1×10-5 Ohm*sm
İstilik sabitliyi	<2500 ℃
Qrafit ölçüsü dəyişir	-10~-20um
Kaplama qalınlığı	≥20um tipik dəyər (35um±10um)