VeTek Semiconductor-un unikal karbid örtükləri tələbkar yarımkeçirici və kompozit yarımkeçirici materialların emalı üçün SiC Epitaksiya Prosesində qrafit hissələri üçün üstün qoruma təmin edir. Nəticə qrafit komponentinin ömrünün uzadılması, reaksiya stoxiometriyasının qorunması, epitaksiya və kristal böyüməsi tətbiqlərinə çirkin miqrasiyasının qarşısını alır, nəticədə məhsuldarlıq və keyfiyyət yüksəlir.
Bizim tantal karbid (TaC) örtüklərimiz kritik soba və reaktor komponentlərini yüksək temperaturda (2200°C-ə qədər) isti ammonyak, hidrogen, silisium buxarları və ərimiş metallardan qoruyur. VeTek Semiconductor sizin fərdi tələblərinizə cavab vermək üçün geniş çeşiddə qrafit emalı və ölçmə imkanlarına malikdir, buna görə də biz sizin və xüsusi tətbiqiniz üçün düzgün həlli dizayn etməyə hazır olan ekspert mühəndis komandamızla ödənişli örtük və ya tam xidmət təklif edə bilərik. .
Mürəkkəb yarımkeçirici kristallar
VeTek Semiconductor müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi TaC örtükləri təmin edə bilər. VeTek Semiconductor-un sənayedə aparıcı örtük prosesi vasitəsilə TaC örtüyü yüksək təmizlik, yüksək temperaturda sabitlik və yüksək kimyəvi müqavimət əldə edə bilər, beləliklə, kristal TaC/GaN) və EPl təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır və kritik reaktor komponentlərinin ömrünü uzadır.
İstilik izolyatorları
SiC, GaN və AlN kristal böyümə komponentləri, o cümlədən, tigelər, toxum tutucular, deflektorlar və filtrlər. Rezistiv qızdırıcı elementlər, ucluqlar, qoruyucu üzüklər və lehimləmə qurğuları, vafli daşıyıcıları, peyk qabları, duş başlıqları, qapaqlar və postamentlər, MOCVD komponentləri daxil olmaqla GaN və SiC epitaksial CVD reaktor komponentləri daxil olmaqla sənaye qurğuları.
LED (İşıq Yayan Diod) Gofret Daşıyıcısı
ALD (Yarımkeçirici) Qəbuledici
EPI Reseptoru (SiC Epitaksiya Prosesi)
TaC ilə örtülmüş peyk qəbuledicisi TaC Örtük Suseptor və Üzük TaC örtük hissələri TaC örtüklü yarım ay hissələri
SiC | TaC | |
Əsas xüsusiyyətləri | Ultra yüksək təmizlik, Əla Plazma müqaviməti | Əla yüksək temperatur sabitliyi (yüksək temperatur prosesinə uyğunluq) |
Saflıq | >99,9999% | >99,9999% |
Sıxlıq (q/sm 3) | 3.21 | 15 |
Sərtlik (kq/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Müqavimət [Ωcm] | 0,1-15,000 | <1 |
İstilik keçiriciliyi (W/m-K) | 200-360 | 22 |
İstilik genişlənmə əmsalı (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Ərizə | Yarımkeçirici Avadanlıq Keramika aparatı (Fokus Halqası, Duş Başlığı, Dummy Gofret) | SiC Tək kristal artımı, Epi, UV LED Avadanlıq hissələri |
VeTek Semiconductor tərəfindən təmin edilən CVD TaC örtük örtüyü tələbkar tətbiqlər üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək ixtisaslaşmış komponentdir. Qabaqcıl xüsusiyyətləri və müstəsna performansı ilə bizim CVD TaC örtük örtüyümüz bir sıra əsas üstünlüklər təklif edir. Bizim CVD TaC örtük örtüyümüz uğur üçün tələb olunan lazımi qoruma və performansı təmin edir. Sizinlə potensial əməkdaşlığı araşdırmağı səbirsizliklə gözləyirik!
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor Aixtron epitaksi avadanlığı üçün müstəsna məhsuldur. Möhkəm TaC örtüyü əla yüksək temperatur müqavimətini və kimyəvi təsirsizliyi təmin edir. Bu unikal kombinasiya hətta tələbkar mühitlərdə belə etibarlı performans və uzun xidmət müddətini təmin edir. VeTek yüksək keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə və rəqabətli qiymətlərlə Çin bazarında uzunmüddətli tərəfdaş kimi xidmət etməyə sadiqdir.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Yarımkeçiricinin TaC Örtük Dayanacaq Plitəsi yarımkeçirici epitaksiya proseslərinin xüsusi tələblərinə cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuş yüksək dəqiqlikli məhsuldur. TaC örtüyü, yüksək temperatura davamlılığı və kimyəvi təsirsizliyi ilə məhsulumuz sizə yüksək keyfiyyətli yüksək keyfiyyətli EPI təbəqələri istehsal etməyə imkan verir. Biz rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqik və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor-un TaC Örtmə Qapağı, xüsusilə silisium karbid (SiC) epitaksisi (EPI) proseslərində görkəmli yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi təsirsizliyi ilə tanınan yüksək keyfiyyətli TaC örtüyünə malikdir. Müstəsna xüsusiyyətləri və üstün performansı ilə bizim TaC Örtük Çubuğumuz bir sıra əsas üstünlüklər təklif edir. Biz rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqik və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor tərəfindən LPE SiC Epi Halfmoon, LPE reaktoru SiC epitaksi proseslərini yüksəltmək üçün hazırlanmış inqilabi məhsul. Bu qabaqcıl həll istehsal əməliyyatlarınız boyunca üstün performans və səmərəliliyi təmin edən bir sıra əsas xüsusiyyətlərə malikdir. Sizinlə uzunmüddətli əməkdaşlıq qurmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Tantal Carbide TaC Coated Halfmoon üçün Çində aparıcı istehsalçı və təchizatçıdır, biz Ar-Ge və istehsalda ixtisaslaşmışıq, keyfiyyətə yaxşı nəzarət edə və rəqabətli qiymət təklif edə bilərik. Uzunmüddətli əməkdaşlığa dair əlavə müzakirələr üçün fabrikimizə xoş gəlmisiniz.
Daha çox oxuSorğu göndərin