VeTek Yarımkeçiricinin TaC Örtük Dayanacaq Plitəsi yarımkeçirici epitaksiya proseslərinin xüsusi tələblərinə cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuş yüksək dəqiqlikli məhsuldur. TaC örtüyü, yüksək temperatura davamlılığı və kimyəvi təsirsizliyi ilə məhsulumuz sizə yüksək keyfiyyətli yüksək keyfiyyətli EPI təbəqələri istehsal etməyə imkan verir. Biz rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqik və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
VeTek Yarımkeçirici Çin istehsalçısı və təchizatçısıdır, o, əsasən uzun illər təcrübəsi olan CVD TaC örtüklü qoruyucuları, Giriş halqasını, Gofret Chunck, TaC örtülmüş tutucu, TaC Örtük Piyada Dəstəyi Plitəsi istehsal edir. Sizinlə işgüzar əlaqələr qurmaq ümidi ilə.
TaC keramikası 3880 ℃-ə qədər ərimə nöqtəsinə, yüksək sərtliyə (Mohs sərtliyi 9 ~ 10), böyük istilik keçiriciliyinə (22W · m-1 · K−1), böyük əyilmə gücünə (340 ~ 400MPa) və kiçik istilik genişlənməsinə malikdir. əmsalı (6,6×10−6K−1) və əla termokimyəvi dayanıqlıq və əla fiziki xassələr göstərir. Qrafit və C/C kompozit materialları ilə yaxşı kimyəvi və mexaniki uyğunluğa malikdir, buna görə də TaC örtüyü aerokosmik istilik qorunmasında, tək kristal artımında və yarımkeçirici sənayesində Aixtron, LPE EPI reaktoru kimi epitaksial reaktorlarda geniş istifadə olunur. TaC ilə örtülmüş qrafit çılpaq daş mürəkkəbdən və ya SiC örtüklü qrafitdən daha yaxşı kimyəvi korroziyaya davamlıdır, 2200 ° yüksək temperaturda sabit şəkildə istifadə edilə bilər, bir çox metal elementlərlə reaksiya vermir, yarımkeçirici monokristal artımının, epitaksiya və vafli aşındırma səhnəsinin üçüncü nəslidir. ən yaxşı performans örtüklü, temperatur və çirklərə nəzarət prosesini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər, Yüksək keyfiyyətli silisium karbid vafli və əlaqəli epitaksial vaflilərin hazırlanması. MOCVD avadanlıqlarında GaN və ya AlN tək kristalının və PVT avadanlığında SiC tək kristalının yetişdirilməsi üçün xüsusilə uyğundur və yetişdirilən tək kristalın keyfiyyəti açıq şəkildə yaxşılaşdırılır.
TaC örtüyünün fiziki xassələri | |
Sıxlıq | 14,3 (q/sm³) |
Xüsusi emissiya | 0.3 |
Termal genişlənmə əmsalı | 6.3 10-6/K |
Sərtlik (HK) | 2000 HK |
Müqavimət | 1×10-5 Ohm*sm |
İstilik sabitliyi | <2500 ℃ |
Qrafit ölçüsü dəyişir | -10~-20um |
Kaplama qalınlığı | ≥20um tipik dəyər (35um±10um) |