TaC Kaplama Planet Həssaslığı

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor Aixtron epitaksi avadanlığı üçün müstəsna məhsuldur. Möhkəm TaC örtüyü əla yüksək temperatur müqavimətini və kimyəvi təsirsizliyi təmin edir. Bu unikal kombinasiya hətta tələbkar mühitlərdə belə etibarlı performans və uzun xidmət müddətini təmin edir. VeTek yüksək keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə və rəqabətli qiymətlərlə Çin bazarında uzunmüddətli tərəfdaş kimi xidmət etməyə sadiqdir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Yarımkeçiricilərin istehsalı sahəsində TaC Kaplama Planet Susseptoru mühüm rol oynayır. Aixtron G5 sistemi kimi avadanlıqlarda silisium karbid (SiC) epitaksial təbəqələrinin böyüməsində geniş istifadə olunur. Bundan əlavə, SiC epitaksisi üçün tantal karbid (TaC) örtüyünün çökdürülməsində xarici disk kimi istifadə edildikdə, TaC Örtük Planet Suseptoru əsas dəstək və sabitliyi təmin edir. O, mükəmməl səth morfologiyası və arzu olunan plyonka qalınlığı ilə yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrin əmələ gəlməsinə töhfə verərək, tantal karbid təbəqəsinin vahid çöküntüsünü təmin edir. TaC örtüyünün kimyəvi təsirsizliyi arzuolunmaz reaksiyaların və çirklənmənin qarşısını alır, epitaksial təbəqələrin bütövlüyünü qoruyur və onların üstün keyfiyyətini təmin edir.

TaC örtüyünün müstəsna istilik keçiriciliyi effektiv istilik ötürülməsinə imkan verir, temperaturun vahid paylanmasını təşviq edir və epitaksial böyümə prosesi zamanı istilik stressini minimuma endirir. Bu, təkmilləşdirilmiş kristalloqrafik xüsusiyyətlərə və gücləndirilmiş elektrik keçiriciliyinə malik yüksək keyfiyyətli SiC epitaksial təbəqələrinin istehsalı ilə nəticələnir.

TaC Coating Planet Disk-in dəqiq ölçüləri və möhkəm konstruksiyası onu mövcud sistemlərə inteqrasiya etməyi asanlaşdırır, qüsursuz uyğunluq və səmərəli işləməyi təmin edir. Onun etibarlı performansı və yüksək keyfiyyətli TaC örtüyü SiC epitaksi proseslərində ardıcıl və vahid nəticələrə kömək edir.

SiC epitaksiyasında müstəsna performans və etibarlılıq üçün VeTek Semiconductor və TaC Coating Planet Diskimizə etibar edin. Sizi yarımkeçirici sənayesində texnoloji irəliləyişlərin önündə yerləşdirərək innovativ həllərimizin üstünlüklərini yaşayın.

TaC örtük və SiC örtük ehtiyat hissələrini təmin edirik:

TaC Örtük Planet Suseptorunun məhsul parametri:

TaC örtüyünün fiziki xassələri
Sıxlıq	14,3 (q/sm³)
Xüsusi emissiya	0.3
Termal genişlənmə əmsalı	6.3 10-6/K
Sərtlik (HK)	2000 HK
Müqavimət	1×10-5 Ohm*sm
İstilik sabitliyi	<2500 ℃
Qrafit ölçüsü dəyişir	-10~-20um
Kaplama qalınlığı	≥20um tipik dəyər (35um±10um)