VeTek Semiconductor, Çində Tantal Carbide Guide Ring məhsullarının peşəkar istehsalçısı və lideridir. Tantal Karbid (TaC) Bələdçi Halqamız, xüsusilə CVD, PVD, aşındırma və diffuziya kimi yüksək temperaturlu və yüksək korroziyalı mühitlərdə adətən yarımkeçirici emal avadanlıqlarında istifadə olunan tantal karbidindən hazırlanmış yüksək performanslı üzük komponentidir. VeTek Semiconductor yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir və əlavə sorğularınızı alqışlayır.
VeTek yarımkeçiriciTantal karbid bələdçi Ring-dən hazırlanmışdırqrafitvətantal karbid ilə örtülmüşdür, üstün performans və uzun ömür təmin etmək üçün hər iki materialın ən yaxşı xüsusiyyətlərindən istifadə edən birləşmə.
TheTaC örtüyüTantal Karbid Bələdçi Halqasında onun tez-tez hidrogen, arqon və azot kimi qazları əhatə edən SiC kristal inkişaf sobalarının reaktiv atmosferlərində kimyəvi cəhətdən təsirsiz qalmasını təmin edir. Bu kimyəvi təsirsizlik, son yarımkeçirici məhsulların qüsurlarına və performansının azalmasına səbəb ola biləcək artan kristalın hər hansı çirklənməsinin qarşısını almaq üçün həyati əhəmiyyət kəsb edir. Bundan əlavə, TaC örtüyü tərəfindən təmin edilən istilik sabitliyi Tantal Karbid Kaplama Bələdçi Halqasının tələb olunan yüksək temperaturda effektiv işləməsinə imkan verir.SiC kristal artımı, adətən 2000°C-dən çox.
Bundan əlavə, Tantal Carbide Coating Ring-də qrafit və TaC-nin birləşməsi kristal böyümə sobası daxilində istilik idarəetməsini optimallaşdırır. Qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi istiliyi səmərəli şəkildə paylayır, qaynar nöqtələrin qarşısını alır və vahid kristal böyüməsini təşviq edir. Eyni zamanda, Tantal Carbide örtüyü qrafit nüvəsini yüksək temperatur və reaktiv qazların birbaşa təsirindən qoruyan istilik maneəsi kimi xidmət edir. Əsas və örtük materialları arasındakı bu sinerji yalnız SiC kristalının böyüməsinin sərt şərtlərinə tab gətirməyən, həm də prosesin ümumi səmərəliliyini və keyfiyyətini artıran bələdçi halqa ilə nəticələnir.
VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbidinin mexaniki xassələri Tantal Karbid Kaplama Üzükünün aşınmasını və aşınmasını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Bu, təkrarlanan təbiətə görə çox vacibdirkristal böyümə prosesi, bələdçi halqasını tez-tez termal dövrlərə və mexaniki gərginliklərə məruz qoyur. Tantal Carbide-nin sərtliyi və aşınma müqaviməti bələdçi halqanın uzun müddət ərzində struktur bütövlüyünü və dəqiq ölçülərini qoruyub saxlamasını təmin edir, tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını minimuma endirir və istehsal prosesində dayanma müddətini azaldır.
VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbid Kaplama Bələdçi Halqası, yarımkeçirici sənayesində mühüm komponentdir və xüsusi olaraq, yarımkeçiricilərin böyüməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur.Silikon karbid kristalları. Onun dizaynı yüksək temperaturlu, yüksək gərginlikli mühitlərdə müstəsna performans göstərmək üçün qrafit və tantal karbidin güclü tərəflərindən istifadə edir. TaC örtüyü yüksək keyfiyyətli SiC kristallarının istehsalı üçün vacib olan kimyəvi təsirsizliyi, mexaniki dayanıqlığı və istilik sabitliyini təmin edir. Ekstremal şəraitdə öz bütövlüyünü və funksionallığını qorumaqla bələdçi halqa yüksək güclü və yüksək tezlikli yarımkeçirici cihazların inkişafına töhfə verərək SiC kristallarının səmərəli və qüsursuz böyüməsini dəstəkləyir.
Mikroskopik kəsikdə tantal karbid (TaC) örtüyü:
TaC örtüyünün fiziki xassələri:
TaC örtüyünün fiziki xassələri
Sıxlıq
14,3 (q/sm³)
Xüsusi emissiya
0.3
Termal genişlənmə əmsalı
6.3*10-6/K
Sərtlik (HK)
2000 HK
Müqavimət
1×10-5Ohm*sm
İstilik sabitliyi
<2500 ℃
Qrafit ölçüsü dəyişir
-10~-20um
Kaplama qalınlığı
≥20um tipik dəyər (35um±10um)