VeTek Semiconductor şirkəti ultra təmiz Silikon Karbid Kaplama məhsullarının istehsalında ixtisaslaşıb, bu örtüklər təmizlənmiş qrafit, keramika və odadavamlı metal komponentlərə tətbiq olunmaq üçün nəzərdə tutulub.
Yüksək təmizlikli örtüklərimiz əsasən yarımkeçiricilər və elektronika sənayesində istifadə üçün nəzərdə tutulub. Onlar vafli daşıyıcıları, qəbulediciləri və qızdırıcı elementləri MOCVD və EPI kimi proseslərdə rast gəlinən aşındırıcı və reaktiv mühitlərdən qoruyan qoruyucu təbəqə rolunu oynayır. Bu proseslər vafli emalı və cihaz istehsalının ayrılmaz hissəsidir. Bundan əlavə, örtüklərimiz yüksək vakuum, reaktiv və oksigen mühitlərinin rast gəlindiyi vakuum sobalarında və nümunənin qızdırılmasında tətbiqlər üçün çox uyğundur.
VeTek Semiconductor-da biz qabaqcıl maşın sexi imkanlarımızla hərtərəfli həll təklif edirik. Bu, bizə qrafit, keramika və ya odadavamlı metallardan istifadə edərək əsas komponentləri istehsal etməyə və SiC və ya TaC keramika örtüklərini evdə tətbiq etməyə imkan verir. Biz, həmçinin, müxtəlif ehtiyacları ödəmək üçün çevikliyi təmin edərək, müştəri tərəfindən təchiz edilmiş hissələr üçün örtük xidmətləri təqdim edirik.
Silikon Karbid Kaplama məhsullarımız Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD sistemi, RTP/RTA prosesində, aşındırma prosesində, ICP/PSS aşındırma prosesində, mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV daxil olmaqla müxtəlif LED növləri prosesində geniş istifadə olunur. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI və s. avadanlıqlara uyğunlaşdırılmış LED və s.
CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri | |
Əmlak | Tipik Dəyər |
Kristal strukturu | FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü |
Sıxlıq | 3,21 q/sm³ |
Sərtlik | 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük) |
Taxıl Ölçüsü | 2 ~ 10μm |
Kimyəvi Saflıq | 99.99995% |
İstilik tutumu | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimasiya temperaturu | 2700 ℃ |
Bükülmə Gücü | 415 MPa RT 4 nöqtəli |
Gəncin Modulu | 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃ |
İstilik keçiriciliyi | 300W·m-1·K-1 |
Termal Genişlənmə (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor-un EPI qəbuledicisi tələbkar epitaksial avadanlıq tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək təmizlikdə silisium karbid (SiC) ilə örtülmüş qrafit strukturu əla istilik müqaviməti, ardıcıl epitaksial təbəqə qalınlığı və müqaviməti üçün vahid istilik vahidliyi və uzunmüddətli kimyəvi müqavimət təklif edir. Sizinlə əməkdaşlıq etməyi səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinÇində peşəkar SiC örtüklü vafli daşıyıcı istehsalçısı və təchizatçısı olaraq, Vetek Semiconductor-un SiC örtüklü vafli daşıyıcıları əsasən epitaksial təbəqənin böyümə vahidliyini yaxşılaşdırmaq, yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə onların sabitliyini və bütövlüyünü təmin etmək üçün istifadə olunur. Sorğunuzu gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Çində ALD Susceptor, CVD SiC örtük, CVD TAC COATING qrafit bazasının peşəkar istehsalçısıdır. Vetek Semiconductor, ALD prosesinin yüksək tələblərinə cavab vermək və hava axınını substratda bərabər paylamaq üçün ALD sistem istehsalçıları ilə birlikdə SiC örtüklü ALD planet əsaslarını işləyib hazırladı və istehsal etdi. Sizinlə gələcək əməkdaşlığı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinÇində peşəkar CVD SiC örtüklü tavan istehsalçısı və təchizatçısı olan VeTek Semiconductor-un CVD SiC örtüklü tavanı yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, yüksək sərtlik və aşağı istilik genişlənmə əmsalı kimi əla xüsusiyyətlərə malikdir və onu yarımkeçirici istehsalında ideal material seçimi edir. Sizinlə gələcək əməkdaşlığı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Çində MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planet Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor peşəkar istehsalçısıdır. VeTek Semiconductor-un MOCVD LED Epi Susceptor tələbkar epitaksial avadanlıq tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Onun yüksək istilik keçiriciliyi, kimyəvi dayanıqlığı və davamlılığı sabit epitaksial böyümə prosesini və yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici film istehsalını təmin edən əsas amillərdir. Sizinlə gələcək əməkdaşlığı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinÇində peşəkar SiC örtüklü ALD qəbuledici istehsalçısı və tədarükçüsü kimi VeTek Semiconductor-un SiC örtüklü ALD həssası atom təbəqəsinin çökməsi (ALD) prosesində xüsusi olaraq istifadə olunan dəstək komponentidir. O, ALD avadanlığında əsas rol oynayır, çökmə prosesinin vahidliyini və dəqiqliyini təmin edir. Biz inanırıq ki, ALD Planetary Susceptor məhsullarımız sizə yüksək keyfiyyətli məhsul həlləri gətirə bilər.
Daha çox oxuSorğu göndərin