VeTek Semiconductor şirkəti ultra təmiz Silikon Karbid Kaplama məhsullarının istehsalında ixtisaslaşıb, bu örtüklər təmizlənmiş qrafit, keramika və odadavamlı metal komponentlərə tətbiq olunmaq üçün nəzərdə tutulub.
Yüksək təmizlikli örtüklərimiz əsasən yarımkeçiricilər və elektronika sənayesində istifadə üçün nəzərdə tutulub. Onlar vafli daşıyıcıları, qəbulediciləri və qızdırıcı elementləri MOCVD və EPI kimi proseslərdə rast gəlinən aşındırıcı və reaktiv mühitlərdən qoruyan qoruyucu təbəqə rolunu oynayır. Bu proseslər vafli emalı və cihaz istehsalının ayrılmaz hissəsidir. Bundan əlavə, örtüklərimiz yüksək vakuum, reaktiv və oksigen mühitlərinin rast gəlindiyi vakuum sobalarında və nümunənin qızdırılmasında tətbiqlər üçün çox uyğundur.
VeTek Semiconductor-da biz qabaqcıl maşın sexi imkanlarımızla hərtərəfli həll təklif edirik. Bu, bizə qrafit, keramika və ya odadavamlı metallardan istifadə edərək əsas komponentləri istehsal etməyə və SiC və ya TaC keramika örtüklərini evdə tətbiq etməyə imkan verir. Biz, həmçinin, müxtəlif ehtiyacları ödəmək üçün çevikliyi təmin edərək, müştəri tərəfindən təchiz edilmiş hissələr üçün örtük xidmətləri təqdim edirik.
Silikon Karbid Kaplama məhsullarımız Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD sistemi, RTP/RTA prosesində, aşındırma prosesində, ICP/PSS aşındırma prosesində, mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV daxil olmaqla müxtəlif LED növləri prosesində geniş istifadə olunur. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI və s. avadanlıqlara uyğunlaşdırılmış LED və s.
CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri | |
Əmlak | Tipik Dəyər |
Kristal strukturu | FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü |
Sıxlıq | 3,21 q/sm³ |
Sərtlik | 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük) |
Taxıl Ölçüsü | 2 ~ 10μm |
Kimyəvi Saflıq | 99.99995% |
İstilik tutumu | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimasiya temperaturu | 2700 ℃ |
Bükülmə Gücü | 415 MPa RT 4 nöqtəli |
Gəncin Modulu | 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃ |
İstilik keçiriciliyi | 300W·m-1·K-1 |
Termal Genişlənmə (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Çində inkişaf etmiş bir SiC Sızdırmazlıq Hissəsi məhsulu istehsalçısı və fabriki olaraq. VeTek Semiconducto SiC Sızdırmazlıq Hissəsi yarımkeçiricilərin emalında və digər həddindən artıq yüksək temperatur və yüksək təzyiq proseslərində geniş istifadə olunan yüksək performanslı sızdırmazlıq komponentidir. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.
Daha çox oxuSorğu göndərinÇində Silicon Carbide Wafer Chuck məhsullarının aparıcı istehsalçısı və təchizatçısı olaraq, VeTek Semiconductor şirkətinin Silicon Carbide Wafer Chuck əla yüksək temperatur müqaviməti, kimyəvi korroziyaya davamlılığı və termal şok müqaviməti ilə epitaksial böyümə prosesində əvəzolunmaz rol oynayır. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Çində Silikon Karbid Duş Başlığı məhsullarının aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. SiC Duş Başlığı əla yüksək temperatur tolerantlığına, kimyəvi sabitliyə, istilik keçiriciliyinə və yaxşı qaz paylama performansına malikdir, bu da qazın vahid paylanmasına nail olmaq və filmin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır. Buna görə də, adətən kimyəvi buxar çökmə (CVD) və ya fiziki buxar çökmə (PVD) prosesləri kimi yüksək temperatur proseslərində istifadə olunur. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.
Daha çox oxuSorğu göndərinÇində peşəkar Silicon Carbide Seal Ring məhsul istehsalçısı və fabriki olaraq, VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring əla istilik müqaviməti, korroziyaya davamlılığı, mexaniki gücü və istilik keçiriciliyi səbəbindən yarımkeçirici emal avadanlıqlarında geniş istifadə olunur. Xüsusilə CVD, PVD və plazma aşındırma kimi yüksək temperatur və reaktiv qazlarla əlaqəli proseslər üçün uyğundur və yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində əsas material seçimidir. Əlavə sorğularınız açıqdır.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Çində SiC örtüklü vafli tutucu məhsullarının peşəkar istehsalçısı və lideridir. SiC örtüklü vafli tutucu yarımkeçirici emalda epitaksiya prosesi üçün vafli tutucudur. Vafli stabilləşdirən və epitaksial təbəqənin vahid böyüməsini təmin edən əvəzolunmaz bir cihazdır. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Çində peşəkar Epi Gofret Tutucu istehsalçısı və fabrikidir. Epi Wafer Holder yarımkeçirici emalında epitaksiya prosesi üçün vafli tutucudur. Bu vafli sabitləşdirmək və epitaksial təbəqənin vahid böyüməsini təmin etmək üçün əsas vasitədir. MOCVD və LPCVD kimi epitaksiya avadanlıqlarında geniş istifadə olunur. Epitaksiya prosesində əvəzolunmaz bir cihazdır. Əlavə məsləhətləşmənizə xoş gəlmisiniz.
Daha çox oxuSorğu göndərin