VeTek Semiconductor şirkəti ultra təmiz Silikon Karbid Kaplama məhsullarının istehsalında ixtisaslaşıb, bu örtüklər təmizlənmiş qrafit, keramika və odadavamlı metal komponentlərə tətbiq olunmaq üçün nəzərdə tutulub.
Yüksək təmizlikli örtüklərimiz əsasən yarımkeçiricilər və elektronika sənayesində istifadə üçün nəzərdə tutulub. Onlar vafli daşıyıcıları, qəbulediciləri və qızdırıcı elementləri MOCVD və EPI kimi proseslərdə rast gəlinən aşındırıcı və reaktiv mühitlərdən qoruyan qoruyucu təbəqə rolunu oynayır. Bu proseslər vafli emalı və cihaz istehsalının ayrılmaz hissəsidir. Bundan əlavə, örtüklərimiz yüksək vakuum, reaktiv və oksigen mühitlərinin rast gəlindiyi vakuum sobalarında və nümunənin qızdırılmasında tətbiqlər üçün çox uyğundur.
VeTek Semiconductor-da biz qabaqcıl maşın sexi imkanlarımızla hərtərəfli həll təklif edirik. Bu, bizə qrafit, keramika və ya odadavamlı metallardan istifadə edərək əsas komponentləri istehsal etməyə və SiC və ya TaC keramika örtüklərini evdə tətbiq etməyə imkan verir. Biz, həmçinin, müxtəlif ehtiyacları ödəmək üçün çevikliyi təmin edərək, müştəri tərəfindən təchiz edilmiş hissələr üçün örtük xidmətləri təqdim edirik.
Silikon Karbid Kaplama məhsullarımız Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD sistemi, RTP/RTA prosesində, aşındırma prosesində, ICP/PSS aşındırma prosesində, mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV daxil olmaqla müxtəlif LED növləri prosesində geniş istifadə olunur. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI və s. avadanlıqlara uyğunlaşdırılmış LED və s.
CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri | |
Əmlak | Tipik Dəyər |
Kristal strukturu | FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü |
Sıxlıq | 3,21 q/sm³ |
Sərtlik | 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük) |
Taxıl Ölçüsü | 2 ~ 10μm |
Kimyəvi Saflıq | 99.99995% |
İstilik tutumu | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimasiya temperaturu | 2700 ℃ |
Bükülmə Gücü | 415 MPa RT 4 nöqtəli |
Gəncin Modulu | 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃ |
İstilik keçiriciliyi | 300W·m-1·K-1 |
Termal Genişlənmə (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor Çində LPE PE2061S istehsalçısı və novatoru üçün aparıcı SiC Örtülü Barrel Susseptorudur. Biz uzun illərdir ki, SiC örtük materialı üzrə ixtisaslaşmışıq. Biz LPE PE2061S 4'' vaflilər üçün xüsusi olaraq hazırlanmış SiC örtüklü çəllək tutucusu təklif edirik. Bu qoruyucu LPE (Maye Fazalı Epitaksiya) prosesi zamanı performansı və dayanıqlığı artıran davamlı silisium karbid örtüyünə malikdir. Sizi Çindəki fabrikimizə baş çəkməyi xoş gəlmisiniz.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor Çində aparıcı Bərk SiC Qaz Duş Başlığı istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir yarımkeçirici material üzrə ixtisaslaşmışıq. , substratın bərabər şəkildə qızdırılmasını təmin etmək. Biz Çində sizinlə uzunmüddətli əməkdaşlıq qurmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Çində aparıcı Kimyəvi Buxar Çökmə Prosesi Bərk SiC Edge Ring istehsalçısı və yenilikçisidir. Biz uzun illərdir yarımkeçirici material üzrə ixtisaslaşmışıq. VeTek Yarımkeçirici bərk SiC kənar halqası elektrostatik çəngəl ilə istifadə edildikdə təkmilləşdirilmiş aşındırma vahidliyi və dəqiq yerləşdirmə təklif edir. , ardıcıl və etibarlı aşındırma nəticələrinin təmin edilməsi. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik Çin.
Daha çox oxuSorğu göndərinVeTek Semiconductor, Çində aparıcı Solid SiC Eching Focusing Ring istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir SiC materialı üzrə ixtisaslaşmışıq. Solid SiC əla termokimyəvi dayanıqlığı, yüksək mexaniki gücü və plazmaya davamlılığı səbəbindən fokuslanma halqası materialı kimi seçilir. eroziya. Biz Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərin