VeTek Semiconductor Çində aparıcı Bərk SiC Qaz Duş Başlığı istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir yarımkeçirici material üzrə ixtisaslaşmışıq. , substratın bərabər şəkildə qızdırılmasını təmin etmək. Biz Çində sizinlə uzunmüddətli əməkdaşlıq qurmağı səbirsizliklə gözləyirik.
VeTek Semiconductor tədqiqat, istehsal və satışa həsr olunmuş inteqrasiya olunmuş bir şirkətdir. 20 ildən artıq təcrübəyə malik komandamız SiC, TaC örtükləri və CVD Solid SiC üzrə ixtisaslaşmışdır. Bizdən Solid SiC qazlı duş başlığı almağa xoş gəlmisiniz.
VeTek Yarımkeçirici Bərk SiC Qazlı Duş Başlığı adətən yarımkeçirici CVD prosesləri zamanı prekursor qazlarını substrat səthinə bərabər paylamaq üçün istifadə olunur. Duş başlıqları üçün CVD-SiC materialının istifadəsi bir sıra üstünlüklərə malikdir. Onun yüksək istilik keçiriciliyi CVD prosesində yaranan istiliyi dağıtmağa kömək edir, substratda temperaturun vahid paylanmasını təmin edir. Bundan əlavə, CVD sic duş başlığının kimyəvi sabitliyi ona CVD proseslərində tez-tez rast gəlinən korroziyalı qazlara və sərt mühitlərə tab gətirməyə imkan verir.
CVD SiC duş başlıqlarının dizaynı xüsusi CVD sistemlərinə və proses tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər. Bununla belə, onlar adətən bir sıra dəqiqliklə qazılmış deşiklər və ya yuvalar olan boşqab və ya disk formalı komponentdən ibarətdir. Çuxur nümunəsi və həndəsə qazın bərabər paylanması və substrat səthində axın sürətini təmin etmək üçün diqqətlə hazırlanmışdır.
Bərk SiC-nin fiziki xassələri | |||
Sıxlıq | 3.21 | q/sm3 | |
Elektrik müqaviməti | 102 | Ω/sm | |
Bükülmə Gücü | 590 | MPa | (6000kqf/sm2) |
Gəncin Modulu | 450 | GPa | (6000kqf/mm2) |
Vickers sərtliyi | 26 | GPa | (2650 kqf/mm2) |
C.TE.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/K | |
İstilik keçiriciliyi (RT) | 250 | W/mK |