VeTek Semiconductor, Çində aparıcı CVD SiC Duş Başlığı istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir SiC materialı üzrə ixtisaslaşmışıq. CVD SiC Duş Başlığı əla termokimyəvi dayanıqlığı, yüksək mexaniki gücü və davamlılığına görə fokuslanma halqası materialı kimi seçilir. plazma eroziyası. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Fabrikamızdan CVD SiC Duş Başlığını alacağınıza əmin ola bilərsiniz. VeTek Yarımkeçirici CVD SiC Duş Başlığı qabaqcıl kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) üsullarından istifadə etməklə bərk silisium karbiddən (SiC) hazırlanır. SiC müstəsna istilik keçiriciliyi, kimyəvi müqaviməti və mexaniki gücü ilə seçilir, CVD SiC Duş Başlığı kimi böyük həcmli SiC komponentləri üçün idealdır.
Yarımkeçiricilərin istehsalı üçün nəzərdə tutulmuş CVD SiC Duş Başlığı yüksək temperaturlara və plazma emalına davamlıdır. Onun dəqiq qaz axını nəzarəti və üstün material xüsusiyyətləri sabit prosesləri və uzunmüddətli etibarlılığı təmin edir. CVD SiC-nin istifadəsi istilik idarəetməsini və kimyəvi sabitliyi artırır, yarımkeçirici məhsulun keyfiyyətini və performansını artırır.
CVD SiC Duş Başlığı proses qazlarını bərabər paylayaraq və kameranı çirklənmədən qoruyaraq epitaksial böyümənin səmərəliliyini artırır. O, müştərilərə etibarlı həllər təqdim edərək, temperaturun idarə edilməsi, kimyəvi sabitlik və prosesin ardıcıllığı kimi yarımkeçiricilərin istehsal problemlərini effektiv şəkildə həll edir.
MOCVD sistemlərində, Si epitaksiyasında və SiC epitaksiyasında istifadə edilən CVD SiC Duş Başlığı yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici cihaz istehsalını dəstəkləyir. Onun mühüm rolu yüksək performanslı və etibarlı məhsullar üçün müxtəlif müştəri tələblərinə cavab verən dəqiq proses nəzarəti və sabitliyi təmin edir.
Bərk SiC-nin fiziki xassələri | |||
Sıxlıq | 3.21 | q/sm3 | |
Elektrik müqaviməti | 102 | Ω/sm | |
Bükülmə Gücü | 590 | MPa | (6000kgf/sm2) |
Gəncin Modulu | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Vickers sərtliyi | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.TE.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/K | |
İstilik keçiriciliyi (RT) | 250 | W/mK |