ALD qəbuledicisi

VeTek Semiconductor, Çində ALD Susceptor, CVD SiC örtük, CVD TAC COATING qrafit bazasının peşəkar istehsalçısıdır. Vetek Semiconductor, ALD prosesinin yüksək tələblərinə cavab vermək və hava axınını substratda bərabər paylamaq üçün ALD sistem istehsalçıları ilə birlikdə SiC örtüklü ALD planet əsaslarını işləyib hazırladı və istehsal etdi. Sizinlə gələcək əməkdaşlığı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Peşəkar kimiALD reseptoruÇində istehsalçı, məhsulumuzALD reseptoru's dəqiq temperatur nəzarəti, vahid qaz paylanması və əla istilik keçiriciliyi və digər məhsul xüsusiyyətləri bunu müəyyən edirALD reseptoruatom təbəqəsinin çökməsi (ALD) prosesində həlledici rol oynayır. Vacib rol, məsləhətləşməni alqışlayın.

Vahid nazik təbəqənin çökməsi:ALD Susceptor, atom təbəqəsinin çökməsi (ALD) prosesi zamanı bütün vafli səthdə atom təbəqələrinin vahid çöküntüsünü təmin edir. Onun unikal fırlanan dizaynı qazların və reaktivlərin vafli səthi ilə bərabər şəkildə təmasda olmasına imkan verir və nəticədə vahid film qalınlığı əldə edilir. Bu, yüksək dəqiqlikli yarımkeçiricilərin istehsalı üçün vacibdir.

Depozit keyfiyyətini yaxşılaşdırın: Temperatur nəzarətini və qaz paylanmasını optimallaşdırmaqla, ALD Susceptor film keyfiyyətini və performansını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır, qüsurları və qeyri-bərabərliyi azaldır. Bu, onu yüksək dəqiqlikli yarımkeçirici və elektron cihazların istehsalı üçün ideal hala gətirir, məhsulun etibarlılığını və performansını təmin edir.

Çox vafli emalını dəstəkləyir:Bəzi ALD Susceptor dizaynları istehsal səmərəliliyini artıraraq, eyni vaxtda birdən çox vafli emal etməyə imkan verir. Bu, genişmiqyaslı istehsalın ehtiyaclarını ödəməyə qadir olan yüksək məhsuldarlıqlı istehsal mühitləri üçün xüsusilə vacibdir.

Müxtəlif ölçülü və tipli vafliləri yerləşdirir:ALD Susceptors ümumiyyətlə yüksək uyğunluq üçün nəzərdə tutulmuşdur və müxtəlif ölçülü və tipli vafliləri dəstəkləyə bilər. Bu, onu müxtəlif istehsal proseslərində effektiv edir, daha çox çeviklik və uyğunlaşma təmin edir.

İstehsal xərclərini azaldın:Effektiv qaz paylanması və vahid isitmə imkanları sayəsində ALD Susceptor çökmə prosesinin səmərəliliyini artırır və bununla da material tullantılarını və istehsal xərclərini azaldır. Bu, yalnız istehsalın səmərəliliyini artırmağa kömək etmir, həm də istehsal xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri: