Yüksək Saflıqda SiC Konsol Paddle

VeTek Semiconductor Çində Yüksək Təmizlik SiC Cantilever Paddle istehsalçısı və novatorudur. Yüksək Saflıqda SiC Konsol Paddles adətən yarımkeçirici diffuziya sobalarında vafli transfer və ya yükləmə platformaları kimi istifadə olunur. VeTek Semiconductor yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Yüksək Saflıqda SiC Cantilever Paddle yarımkeçirici emal avadanlıqlarında istifadə olunan əsas komponentdir. Məhsul yüksək təmizlikli silisium karbid (SiC) materialından hazırlanmışdır. Yüksək təmizlik, yüksək istilik dayanıqlığı və korroziyaya davamlılıq kimi əla xüsusiyyətləri ilə birləşərək, vafli transfer, dəstək və yüksək temperaturda emal kimi proseslərdə geniş istifadə olunur, prosesin dəqiqliyini və məhsul keyfiyyətini təmin etmək üçün etibarlı zəmanət verir.

Ümumiyyətlə, High Purity SiC Cantilever Paddle yarımkeçiricilərin emal prosesində aşağıdakı spesifik rolları oynayır:

Gofret köçürməsi: Yüksək Saflıqda SiC Konsol Paddle adətən yüksək temperaturlu diffuziya və ya oksidləşmə sobalarında gofret ötürmə cihazı kimi istifadə olunur. Onun yüksək sərtliyi onu aşınmaya davamlı edir və uzunmüddətli istifadə zamanı deformasiyaya uğraması asan deyil və vafli transfer prosesi zamanı dəqiq şəkildə yerləşdirilməsini təmin edə bilər. Yüksək temperatur və korroziyaya davamlılığı ilə birlikdə, vaflilərə heç bir çirklənmə və ya zədələnmədən yüksək temperaturlu mühitlərdə vafliləri soba borusuna təhlükəsiz şəkildə köçürə bilər.

Gofret dəstəyi: SiC materialının aşağı istilik genişlənmə əmsalı var, yəni temperatur dəyişdikdə onun ölçüsü daha az dəyişir, bu da prosesdə dəqiq nəzarəti saxlamağa kömək edir. Kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) və ya fiziki buxar çökmə (PVD) proseslərində SiC Cantilever Paddle, çökmə prosesi zamanı vaflinin sabit və düz qalmasını təmin etmək və bununla da filmin vahidliyini və keyfiyyətini yaxşılaşdırmaq üçün vaflini dəstəkləmək və fiksasiya etmək üçün istifadə olunur. .

Yüksək temperatur proseslərinin tətbiqi: SiC Cantilever Paddle əla istilik sabitliyinə malikdir və 1600°C-ə qədər olan temperaturlara davam edə bilir. Buna görə də, bu məhsul yüksək temperaturda tavlama, oksidləşmə, diffuziya və digər proseslərdə geniş istifadə olunur.

Yüksək Saflıqda SiC Cantilever Paddle-nin əsas fiziki xassələri: