EPI alıcısı

VeTek Semiconductor peşəkar lider Çin EPI qəbuledicisi, ALD Planet qəbuledicisi, TaC örtüklü qrafit qəbuledici istehsalçısıdır.

VeTek Semiconductor-un EPI reseptoru yarımkeçirici istehsal prosesində epitaksial böyümənin vacib komponentidir. Onun əsas funksiyası vaflini dəstəkləmək və qızdırmaqdır ki, vaflinin səthində yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqə bərabər şəkildə yetişdirilə bilsin.

VeTek Semiconductors-un EPI reseptorları adətən yüksək təmizlikli qrafitdən hazırlanır və silisium karbid (SiC) təbəqəsi ilə örtülür. Bu dizayn aşağıdakı əsas üstünlüklərə malikdir:

Yüksək temperatur sabitliyi: EPI həssaslığı epitaksial təbəqənin vahid böyüməsini təmin edərək yüksək temperatur mühitində sabit qala bilər.

Korroziyaya davamlılıq: SiC örtüyü əla korroziyaya davamlıdır və kimyəvi qazların aşınmasına qarşı dura bilir, nimçənin xidmət müddətini uzadır.

İstilik keçiriciliyi: SiC materialının yüksək istilik keçiriciliyi qızdırma zamanı vaflinin temperaturun bərabər paylanmasını təmin edir və bununla da epitaksial təbəqənin keyfiyyətini yaxşılaşdırır.

Termal genişlənmə əmsalı uyğunluğu: SiC-nin istilik genişlənmə əmsalı qrafitinkinə bənzəyir, istilik genişlənməsi və büzülməsi səbəbindən örtük tökülməsi problemindən qaçır.

Əsas fiziki xassələriEPI alıcısı:

CVD SiC örtük istehsalı sexi:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: