VeTek Semiconductor-un EPI qəbuledicisi tələbkar epitaksial avadanlıq tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Onun yüksək saflıqda silisium karbid (SiC) ilə örtülmüş qrafit strukturu əla istilik müqaviməti, ardıcıl epitaksial təbəqənin qalınlığı və müqaviməti üçün vahid istilik vahidliyi və uzunmüddətli kimyəvi müqavimət təklif edir. Sizinlə əməkdaşlıq etməyi səbirsizliklə gözləyirik.
VeTek Semiconductor peşəkar lider Çin EPI qəbuledicisi, ALD Planet qəbuledicisi, TaC örtüklü qrafit qəbuledici istehsalçısıdır.
VeTek Semiconductor-un EPI reseptoru yarımkeçirici istehsal prosesində epitaksial böyümənin vacib komponentidir. Onun əsas funksiyası vaflini dəstəkləmək və qızdırmaqdır ki, vaflinin səthində yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqə bərabər şəkildə yetişdirilə bilsin.
VeTek Semiconductors-un EPI reseptorları adətən yüksək təmizlikli qrafitdən hazırlanır və silisium karbid (SiC) təbəqəsi ilə örtülür. Bu dizayn aşağıdakı əsas üstünlüklərə malikdir:
Yüksək temperatur sabitliyi: EPI həssaslığı epitaksial təbəqənin vahid böyüməsini təmin edərək yüksək temperatur mühitində sabit qala bilər.
Korroziyaya davamlılıq: SiC örtüyü əla korroziyaya davamlıdır və kimyəvi qazların aşınmasına qarşı dura bilir, nimçənin xidmət müddətini uzadır.
İstilik keçiriciliyi: SiC materialının yüksək istilik keçiriciliyi qızdırma zamanı vaflinin temperaturun bərabər paylanmasını təmin edir və bununla da epitaksial təbəqənin keyfiyyətini yaxşılaşdırır.
Termal genişlənmə əmsalı uyğunluğu: SiC-nin istilik genişlənmə əmsalı qrafitinkinə bənzəyir, istilik genişlənməsi və büzülməsi səbəbindən örtük tökülməsi problemindən qaçır.
Əsas fiziki xassələriEPI alıcısı:
CVD SiC örtük istehsalı sexi:
Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: