> Məhsullar > Silikon Karbid Kaplama > Silikon epitaksiyası > LPE PE3061S 6'' Vaflilər üçün SiC Örtülü Pancake Susseptoru

Məhsullar

yeni məhsullar

LPE PE3061S 6'' Vaflilər üçün SiC Örtülü Pancake Susseptoru

VeTek Semiconductor, Çində LPE PE3061S 6'' vafli istehsalçısı və yenilikçisi üçün aparıcı SiC Örtülü Pancake Susceptorudur. Biz uzun illərdir ki, SiC örtük materialında ixtisaslaşmışıq. . Bu epitaksial sensor yüksək korroziyaya davamlılıq, yaxşı istilik keçirmə performansı, yaxşı vahidlik xüsusiyyətlərinə malikdir. Sizi Çindəki fabrikimizə baş çəkməyi xoş gəlmisiniz.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Peşəkar istehsalçı olaraq, VeTek Semiconductor sizə LPE PE3061S 6'' vaflilər üçün yüksək keyfiyyətli SiC örtüklü pancake süpürgəsini təqdim etmək istəyir.

LPE PE3061S 6" vaflilər üçün VeTeK Yarımkeçirici SiC Örtülü Pancake Susseptoru yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə olunan mühüm avadanlıqdır.

LPE PE3061S 6" vaflilər üçün SiC örtüklü pancake süpürgəsi Məhsul Xüsusiyyətləri:

Yüksək temperaturda sabitlik: SiC yüksək temperaturlu mühitlərdə öz strukturunu və performansını saxlayaraq əla yüksək temperatur sabitliyi nümayiş etdirir.

Mükəmməl istilik keçiriciliyi: SiC sürətli və bərabər istilik üçün sürətli və vahid istilik ötürülməsinə imkan verən müstəsna istilik keçiriciliyinə malikdir.

Korroziyaya davamlılıq: SiC müxtəlif istilik mühitlərində korroziyaya və oksidləşməyə davamlı olmaqla əla kimyəvi sabitliyə malikdir.

Vahid isitmə paylanması: SiC örtüklü vafli daşıyıcı, qızdırma zamanı vaflinin səthi boyunca bərabər temperaturu təmin edərək vahid istilik paylanmasını təmin edir.

Yarımkeçirici istehsalı üçün uyğundur: Si epitaxy gofret daşıyıcısı yarımkeçirici istehsal proseslərində, xüsusən Si epitaksisinin böyüməsi və digər yüksək temperaturlu istilik prosesləri üçün geniş istifadə olunur.

Məhsulun Üstünlükləri:

Təkmilləşdirilmiş istehsal səmərəliliyi: SiC ilə örtülmüş pancake qəbuledicisi sürətli və vahid qızdırmağa imkan verir, istilik vaxtını azaldır və istehsal səmərəliliyini artırır.

Məhsulun keyfiyyətinin təmin edilməsi: Vahid isitmə paylanması vafli emal zamanı ardıcıllığı təmin edir və məhsulun keyfiyyətinin yaxşılaşmasına səbəb olur.

Avadanlığın uzadılmış ömrü: SiC materialı əla istilik müqaviməti və kimyəvi sabitlik təklif edir, bu da pancake reseptorunun daha uzun xidmət müddətinə kömək edir.

Fərdi həllər: SiC örtüklü susseptor, Si epitaxy gofret daşıyıcısı müştəri tələblərinə əsasən müxtəlif ölçülərə və spesifikasiyalara uyğunlaşdırıla bilər.

SEM data and structure of CVD SIC films

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xüsusiyyətləri:

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak	Tipik Dəyər
Kristal strukturu	FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
Sıxlıq	3,21 q/sm³
Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl Ölçüsü	2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq	99.99995%
İstilik tutumu	640 J·kg-1·K-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi	300W·m-1·K-1
Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10-6K-1

VeTek yarımkeçiricilər istehsalı sexi

VeTek Semiconductor Production Shop

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Qaynar Teqlər: LPE PE3061S 6'' Gofret üçün SiC Örtülü Pancake Susseptor, Çin, İstehsalçı, Təchizatçı, Fabrik, Xüsusiləşdirilmiş, Alın, Qabaqcıl, Davamlı, Çin istehsalı