SiC örtüklü vafli daşıyıcı

Vetek Semiconductor yüksək performanslı SiC örtüklü vafli daşıyıcıların istehsalı və təchizatı üzrə ixtisaslaşıb və yarımkeçirici sənayesinə qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etmək öhdəliyinə sadiqdir.

Yarımkeçirici istehsalında Vetek Semiconductor-un SiC örtüklü vafli daşıyıcısı kimyəvi buxar çökmə (CVD) avadanlığında, xüsusən də metal üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) avadanlıqlarında əsas komponentdir. Onun əsas vəzifəsi epitaksial təbəqənin bərabər şəkildə böyüməsi üçün monokristal substratı dəstəkləmək və qızdırmaqdır. Bu, yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici cihazların istehsalı üçün vacibdir.

SiC örtüyünün korroziyaya davamlılığı çox yaxşıdır, bu, qrafit bazasını korroziyalı qazlardan effektiv şəkildə qoruya bilər. Bu, yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə xüsusilə vacibdir. Bundan əlavə, SiC materialının istilik keçiriciliyi də çox əladır, bu da istiliyi bərabər şəkildə keçirə və vahid temperatur paylanmasını təmin edə bilər və bununla da epitaksial materialların böyümə keyfiyyətini yaxşılaşdırır.

SiC örtüyü yüksək temperaturda və aşındırıcı atmosferdə kimyəvi dayanıqlığı qoruyur, örtük çatışmazlığı probleminin qarşısını alır. Daha da əhəmiyyətlisi, SiC-nin istilik genişlənmə əmsalı qrafitinkinə bənzəyir ki, bu da istilik genişlənməsi və büzülməsi səbəbindən örtüyün tökülməsi problemindən qaça bilər və örtünün uzunmüddətli sabitliyini və etibarlılığını təmin edə bilər.

Əsas fiziki xassələriSiC örtüklü vafli daşıyıcı:

İstehsalat sexi:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: