MOCVD qəbuledicisi

CVD SiC örtük istehsalçısı olaraq, VeTek Semiconductor sizə yüksək təmizlikdə qrafitdən və CVD SiC örtüyündən (5 ppm-dən aşağı) hazırlanmış Aixtron G5 MOCVD Susseptorlarını təqdim etmək istəyir.

Bizi sorğulamağa xoş gəlmisiniz.

Mikro LED texnologiyası indiyə qədər yalnız LCD və ya yarımkeçirici sənayelərində görülən metod və yanaşmalarla mövcud LED ekosistemini pozur və Aixtron G5 MOCVD sistemi bu ciddi genişləndirmə tələblərini mükəmməl şəkildə dəstəkləyir. Aixtron G5, əsasən silikon əsaslı GaN epitaksisinin böyüməsi üçün nəzərdə tutulmuş güclü MOCVD reaktorudur.

İstehsal olunan bütün epitaksial vaflilərin çox sıx dalğa uzunluğu paylanmasına və çox aşağı səth qüsur səviyyələrinə malik olması vacibdir ki, bu da innovativ MOCVD texnologiyasını tələb edir.

Aixtron G5 üfüqi Planet disk epitaksiya sistemidir, əsasən Planet diski, MOCVD qəbuledicisi, qapaq halqası, tavan, dayaq halqası, qapaq diski, işlənmiş kollektor, sancaq yuyucusu, kollektor giriş halqası və s., Əsas məhsul materialları CVD SiC örtüyüdür+ yüksək təmizlikli qrafit, yarımkeçirici kvars, CVD TaC örtüyü+yüksək təmizlikli qrafit, sərt keçə və digər materiallar.

MOCVD Susceptor xüsusiyyətləri aşağıdakılardır:

Əsas materialın mühafizəsi: CVD SiC örtüyü epitaksial prosesdə qoruyucu təbəqə rolunu oynayır ki, bu da xarici mühitin əsas materiala aşınmasını və zədələnməsini effektiv şəkildə qarşısını alır, etibarlı qoruyucu tədbirləri təmin edir və avadanlığın xidmət müddətini uzadır.

Əla istilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü əla istilik keçiriciliyinə malikdir və istiliyi əsas materialdan örtük səthinə sürətlə ötürə bilir, epitaksiya zamanı istilik idarəetmə səmərəliliyini artırır və avadanlığın müvafiq temperatur diapazonunda işləməsini təmin edir.

Filmin keyfiyyətini yaxşılaşdırın: CVD SiC örtüyü düz, vahid səth təmin edə bilər və filmin böyüməsi üçün yaxşı zəmin yaradır. Şəbəkə uyğunsuzluğundan yaranan qüsurları azalda, filmin kristallığını və keyfiyyətini yaxşılaşdıra və beləliklə epitaksial filmin performansını və etibarlılığını yaxşılaşdıra bilər.

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xüsusiyyətləri:

Sənaye zənciri:

İstehsalat sexi