Çin Bərk silisium karbid İstehsalçı, Təchizatçı, Fabrika

VeTek Yarımkeçirici Bərk Silikon Karbid plazma aşındırma avadanlıqlarında mühüm keramika komponentidir, bərk silisium karbid(CVD silisium karbid) aşındırma avadanlığının hissələri daxildirfokus halqaları, qaz duş başlığı, nimçə, kənar halqalar və s. Bərk silisium karbidinin (CVD silisium karbid) xlor və flüor tərkibli aşındırıcı qazlara aşağı reaktivliyi və keçiriciliyinə görə o, plazma aşındırma avadanlığı üçün ideal materialdır. komponentlər.

Məsələn, fokus halqası vaflidən kənarda yerləşdirilən və vafli ilə birbaşa təmasda olan mühüm hissədir, halqadan keçən plazmanı fokuslamaq üçün halqaya gərginlik tətbiq etməklə və bununla da plazmanın vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün vafli üzərində fokuslanır. emal. Ənənəvi fokus halqası silikondan və ya hazırlanırkvars, ümumi fokus halqa material kimi keçirici silikon, demək olar ki, silikon vafli keçiriciliyinə yaxındır, lakin çatışmazlığı flüor tərkibli plazmada zəif aşındırma müqavimətidir, tez-tez bir müddət istifadə olunan maşın hissələri materialları aşındırır, ciddi olacaq korroziya fenomeni, onun istehsal səmərəliliyini ciddi şəkildə azaldır.

Sköhnə SiC Focus Ringİş prinsipi：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Və əsaslı fokuslama halqası və CVD SiC fokuslama halqasının müqayisəsi:

Və əsaslı fokuslama halqası və CVD SiC fokuslama halqasının müqayisəsi
Maddə	Və	CVD SiC
Sıxlıq (q/sm³)	2.33	3.21
Band boşluğu (eV)	1.12	2.3
İstilik keçiriciliyi (W/sm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Elastik modul (GPa)	150	440
Sərtlik (GPa)	11.4	24.5
Aşınmaya və korroziyaya qarşı müqavimət	Yazıq	Əla

VeTek Semiconductor yarımkeçirici avadanlıq üçün SiC fokuslama halqaları kimi qabaqcıl bərk silisium karbid (CVD silisium karbid) hissələri təklif edir. Bizim bərk silisium karbid fokuslama halqalarımız mexaniki güc, kimyəvi müqavimət, istilik keçiriciliyi, yüksək temperatura davamlılıq və ionların aşınma müqaviməti baxımından ənənəvi silisiumdan üstündür.

VəC fokuslama halqalarımızın əsas xüsusiyyətlərinə daxildir:

Azaldılmış aşındırma dərəcələri üçün yüksək sıxlıq.

Yüksək bant boşluğu ilə əla izolyasiya.

Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişlənməsinin aşağı əmsalı.

Üstün mexaniki təsir müqaviməti və elastiklik.

Yüksək sərtlik, aşınma müqaviməti və korroziyaya davamlılıq.

İstifadə edərək istehsal edilmişdirPlazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə (PECVD)texnikalar, SiC fokuslama halqalarımız yarımkeçirici istehsalında aşındırma proseslərinin artan tələblərinə cavab verir. Onlar daha yüksək plazma gücünə və enerjisinə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur, xüsusən dəkapasitiv birləşdirilmiş plazma (CCP)sistemləri.

VeTek Semiconductor-un SiC fokuslama halqaları yarımkeçirici cihazların istehsalında müstəsna performans və etibarlılıq təmin edir. Üstün keyfiyyət və səmərəlilik üçün SiC komponentlərimizi seçin.

View as

SiC Crystal Growth Yeni Texnologiya

Vetek Semiconductor şirkətinin kimyəvi buxar çökməsi (CVD) nəticəsində əmələ gələn ultra yüksək təmizlikli silisium karbidindən (SiC) fiziki buxar nəqli (PVT) ilə silisium karbid kristallarının yetişdirilməsi üçün mənbə materialı kimi istifadə edilə bilər. SiC Crystal Growth New Technology-də mənbə materialı potaya yüklənir və toxum kristalına sublimasiya edilir. Materialı SiC kristallarının böyüməsi üçün mənbə kimi təkrar emal etmək üçün atılmış CVD-SiC bloklarından istifadə edin. Bizimlə tərəfdaşlıq qurmağa xoş gəlmisiniz.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

CVD SiC Duş Başlığı

VeTek Semiconductor, Çində aparıcı CVD SiC Duş Başlığı istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir SiC materialı üzrə ixtisaslaşmışıq. CVD SiC Duş Başlığı əla termokimyəvi dayanıqlığı, yüksək mexaniki gücü və davamlılığına görə fokuslanma halqası materialı kimi seçilir. plazma eroziyası. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

SiC Duş Başlığı

VeTek Semiconductor Çində aparıcı SiC Duş Başlığı istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir SiC materialı üzrə ixtisaslaşmışıq. SiC Duş Başlığı əla termokimyəvi dayanıqlığı, yüksək mexaniki gücü və plazma eroziyasına qarşı müqaviməti sayəsində fokuslanma halqası materialı kimi seçilir. .Biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

Bərk SiC qazlı duş başlığı

VeTek Semiconductor Çində aparıcı Bərk SiC Qaz Duş Başlığı istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir yarımkeçirici material üzrə ixtisaslaşmışıq. , substratın bərabər şəkildə qızdırılmasını təmin etmək. Biz Çində sizinlə uzunmüddətli əməkdaşlıq qurmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

Kimyəvi Buxar Çökmə Prosesi Bərk SiC Kənar Halqası

VeTek Semiconductor, Çində aparıcı Kimyəvi Buxar Çökmə Prosesi Bərk SiC Edge Ring istehsalçısı və yenilikçisidir. Biz uzun illərdir yarımkeçirici material üzrə ixtisaslaşmışıq. VeTek Yarımkeçirici bərk SiC kənar halqası elektrostatik çəngəl ilə istifadə edildikdə təkmilləşdirilmiş aşındırma vahidliyi və dəqiq yerləşdirmə təklif edir. , ardıcıl və etibarlı aşındırma nəticələrinin təmin edilməsi. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik Çin.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

Bərk SiC Aşınma Fokuslama Üzüyü

VeTek Semiconductor, Çində aparıcı Solid SiC Eching Focusing Ring istehsalçısı və yenilikçidir. Biz uzun illərdir SiC materialı üzrə ixtisaslaşmışıq. Solid SiC əla termokimyəvi dayanıqlığı, yüksək mexaniki gücü və plazmaya davamlılığı səbəbindən fokuslanma halqası materialı kimi seçilir. eroziya. Biz Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Daha çox oxu Sorğu göndərin

<1 2 >

Çində peşəkar Bərk silisium karbid istehsalçı və təchizatçı olaraq öz zavodumuz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək üçün fərdiləşdirilmiş xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması və ya Çin istehsalı olan qabaqcıl və davamlı Bərk silisium karbid almaq istəsəniz, bizə mesaj buraxa bilərsiniz.