Aixtron MOCVD reseptoru

tərəfindən istehsal olunan SuseptorlarVetek yarımkeçiriciqrafit substratdan və silisium karbid (SiC) örtük materialından hazırlanır. SiC materialının daha yüksək aşınma müqavimətini, korroziyaya davamlılığını və son dərəcə yüksək sərtliyini nəzərə alaraq, o, xüsusilə sərt proses mühitlərində istifadə üçün uygundur. Buna görə də, Vetek Semiconductor tərəfindən istehsal olunan Susseptorlar əlavə səth müalicəsi olmadan birbaşa yüksək temperaturlu MOCVD proseslərində istifadə edilə bilər.

Qəbuledicilər yarımkeçirici istehsalında, xüsusən də nazik təbəqənin çökmə prosesləri üçün MOCVD avadanlıqlarında əsas komponentlərdir. -nin əsas roluAixtron SiC qəbuledicisiMOCVD prosesində yarımkeçirici vafliləri daşımaq, vahid istilik paylanması və reaksiya mühitini təmin etməklə nazik təbəqələrin vahid və yüksək keyfiyyətli çökdürülməsini təmin etmək və bununla da yüksək keyfiyyətli nazik təbəqə istehsalına nail olmaqdır.

Aixtron MOCVD reseptoruadətən çökmə prosesi zamanı vaflinin dayanıqlığını təmin etmək üçün yarımkeçirici vaflilərin əsasını dəstəkləmək və bərkitmək üçün istifadə olunur. Eyni zamanda, Aixtron MOCVD Susceptor-un səth örtüyü yüksək istilik keçirici material olan silisium karbidindən (SiC) hazırlanır. SiC örtüyü vaflinin səthində vahid temperatur təmin edir və yüksək keyfiyyətli filmlər əldə etmək üçün vahid istilik vacibdir.

Üstəlik,Aixtron MOCVD reseptorubiz istehsal etdiyimiz materialların optimallaşdırılmış dizaynı vasitəsilə reaktiv qazların axını və paylanmasına nəzarət etməkdə daha böyük rol oynayır. Filmin vahid çökməsinə nail olmaq üçün burulğan cərəyanlarından və temperatur gradientlərindən çəkinin.

Daha da əhəmiyyətlisi, MOCVD prosesində silisium karbid (SiC) örtük materialı korroziyaya davamlıdır, buna görə dəVetek yarımkeçiricininAixtron MOCVD reseptoruyüksək temperaturlara və aşındırıcı qazlara da dözə bilir.

Əsas fiziki xassələriSIC QAPLAMA:

VeTek Semiconductor Wafer Boat mağazaları:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: