Ev > Məhsullar > Silikon Karbid Kaplama > MOCVD Texnologiyası > SiC Kaplama Kollektoru Altı
SiC Kaplama Kollektoru Altı
  • SiC Kaplama Kollektoru AltıSiC Kaplama Kollektoru Altı
  • SiC Kaplama Kollektoru AltıSiC Kaplama Kollektoru Altı

SiC Kaplama Kollektoru Altı

CVD SiC örtük istehsalında təcrübəmizlə VeTek Semiconductor qürurla Aixtron SiC Örtük Kollektorunu təqdim edir. Bu SiC Örtük Kollektor Alt hissəsi yüksək saflıqda olan qrafitdən istifadə edilərək tikilir və CVD SiC ilə örtülür və 5 ppm-dən aşağı çirklənməni təmin edir. Əlavə məlumat və suallar üçün bizimlə əlaqə saxlamaqdan çekinmeyin.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

VeTek Yarımkeçirici yüksək keyfiyyətli CVD TaC Örtüyü və CVD SiC Örtük Kollektor Alt hissəsini təmin etməyə sadiq olan istehsalçıdır və müştərilərimizin ehtiyaclarını ödəmək üçün Aixtron avadanlığı ilə sıx əməkdaşlıq edir. İstər prosesin optimallaşdırılmasında, istərsə də yeni məhsulun hazırlanmasında, biz sizə texniki dəstək verməyə və yarana biləcək hər hansı sualınıza cavab verməyə hazırıq.

Aixtron SiC Coating Collector Top, Kollektor Mərkəzi və SiC Coating Collector Bottom məhsulları. Bu məhsullar qabaqcıl yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə olunan əsas komponentlərdən biridir.

Aixtron avadanlığında Aixtron SiC ilə örtülmüş Kollektor Üstü, Kollektor Mərkəzi və Kollektor Dibinin birləşməsi aşağıdakı mühüm rolları oynayır:

İstilik idarəetməsi: Bu komponentlər əla istilik keçiriciliyinə malikdir və istiliyi effektiv şəkildə keçirə bilirlər. Yarımkeçiricilərin istehsalında istilik idarəetməsi çox vacibdir. Kollektorun üstü, Kollektor Mərkəzi və Silikon Karbidlə örtülmüş kollektorun dibindəki SiC örtükləri istiliyi səmərəli şəkildə çıxarmağa, müvafiq proses temperaturlarını saxlamağa və avadanlığın istilik idarəetməsini yaxşılaşdırmağa kömək edir.

Kimyəvi ətalət və korroziyaya davamlılıq: Aixtron SiC ilə örtülmüş Kollektor Üstü, Kollektor Mərkəzi və SiC Örtük Kollektor Altı əla kimyəvi ətalətə malikdir və kimyəvi korroziyaya və oksidləşməyə davamlıdır. Bu, onlara uzun müddət sərt kimyəvi mühitlərdə sabit işləməyə imkan verir, etibarlı qoruyucu təbəqə təmin edir və komponentlərin xidmət müddətini uzadır.

Elektron şüası (EB) buxarlanma prosesi üçün dəstək: Bu komponentlər elektron şüa buxarlanma prosesini dəstəkləmək üçün Aixtron avadanlıqlarında istifadə olunur. Kollektor Üstünün, Kollektor Mərkəzinin və SiC Kaplama Kollektorunun dizaynı və material seçimi filmin vahid çökməsinə nail olmağa kömək edir və filmin keyfiyyətini və tutarlılığını təmin etmək üçün sabit substratı təmin edir.

Film yetişdirmə mühitinin optimallaşdırılması: Kollektor Üstü, Kollektor Mərkəzi və SiC Kaplama Kollektoru Aixtron avadanlığında plyonka yetişdirilməsi mühitini optimallaşdırır. Kaplamanın kimyəvi təsirsizliyi və istilik keçiriciliyi çirkləri və qüsurları azaltmağa və filmin kristal keyfiyyətini və tutarlılığını yaxşılaşdırmağa kömək edir.

Aixtron SiC örtüklü Kollektor Üstü, Kollektor Mərkəzi və SiC Örtük Kollektor Altlığından istifadə etməklə yarımkeçiricilərin istehsal proseslərində istilik idarəetməsi və kimyəvi mühafizəyə nail olmaq, filmin böyüməsi mühitini optimallaşdırmaq və filmin keyfiyyətini və tutarlılığını artırmaq olar. Bu komponentlərin Aixtron avadanlığında birləşməsi sabit proses şəraitini və səmərəli yarımkeçirici istehsalını təmin edir.


CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xüsusiyyətləri:

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak Tipik Dəyər
Kristal strukturu FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
Sıxlıq 3,21 q/sm³
Sərtlik 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl Ölçüsü 2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq 99.99995%
İstilik tutumu 640 J·kg-1·K-1
Sublimasiya temperaturu 2700 ℃
Bükülmə Gücü 415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilikkeçirmə 300W·m-1·K-1
Termal Genişlənmə (CTE) 4,5×10-6K-1


Sənaye zənciri:


İstehsalat sexi


Qaynar Teqlər: SiC Coating Collector Bottom, Çin, İstehsalçı, Təchizatçı, Zavod, Xüsusi, Alın, Qabaqcıl, Davamlı, Made in China
Əlaqədar Kateqoriya
Sorğu göndərin
Sorğunuzu aşağıdakı formada verməkdən çekinmeyin. 24 saat ərzində sizə cavab verəcəyik.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept