MOCVD üçün SiC Örtülü Qrafit Susseptor

VeTek Semiconductor, yarımkeçirici sənayesi üçün SiC örtük tətbiqləri və epitaksial yarımkeçirici məhsullar üzrə ixtisaslaşmış Çində MOCVD üçün SiC Örtülü Qrafit Susseptorunun aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. MOCVD SiC örtülmüş qrafit qoruyucularımız Avropa və Amerikada bazarlara xidmət göstərən rəqabətqabiliyyətli keyfiyyət və qiymət təklif edir. Biz yarımkeçiricilər istehsalının inkişafında uzunmüddətli, etibarlı tərəfdaşınız olmağa sadiqik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

VeTek Semiconductor-un MOCVD üçün SiC Örtülü Qrafit Susseptoru vafli çiplərində epitaksial təbəqənin böyüməsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizlikli SiC örtüklü qrafit daşıyıcısıdır. Tipik olaraq dişli və ya üzük kimi formalaşan MOCVD emalında mərkəzi komponent kimi, ekstremal mühitlərdə sabitliyi təmin edən müstəsna istilik müqavimətinə və korroziyaya davamlılığına malikdir.

MOCVD SiC ilə örtülmüş qrafit susseptorunun əsas xüsusiyyətləri:

● Lopaya davamlı örtük: Bütün səthlərdə vahid SiC örtüyünü təmin edir, hissəciklərin qopma riskini azaldır

● Əla Yüksək Temperatur Oksidləşmə Müqavimətice: 1600°C-ə qədər olan temperaturlarda sabit qalır

● Yüksək Saflıq: CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi yolu ilə istehsal edilmişdir, yüksək temperaturda xlorlama şəraiti üçün uyğundur

● Üstün Korroziyaya Müqavimət: Turşulara, qələvilərə, duzlara və üzvi reagentlərə qarşı yüksək davamlıdır

● Optimallaşdırılmış Laminar Hava Axını Modeli: Hava axını dinamikasının vahidliyini artırır

● Vahid İstilik Paylanması: Yüksək temperatur prosesləri zamanı sabit istilik paylanmasını təmin edir

● Çirklənmənin qarşısının alınması: Çirkləndiricilərin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alır, vafli təmizliyini təmin edir

VeTek Semiconductor-da biz müştərilərimizə etibarlı məhsul və xidmətlər təqdim edərək ciddi keyfiyyət standartlarına riayət edirik. Biz yalnız premium materiallar seçirik, sənaye performans tələblərinə cavab verməyə və onları aşmağa çalışırıq. MOCVD üçün SiC ilə örtülmüş qrafit tutucumuz keyfiyyətə olan bu öhdəliyi nümunə göstərir. Yarımkeçirici vafli emal ehtiyaclarınızı necə dəstəkləyəcəyimizi öyrənmək üçün bizimlə əlaqə saxlayın.

CVD SIC FİLMİNİN KRİSTAL STRUKTURU:

SEM DATA OF CVD SIC FILM

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xüsusiyyətləri:

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak	Tipik Dəyər
Kristal strukturu	FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
Sıxlıq	3,21 q/sm³
Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl ölçüsü	2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq	99.99995%
İstilik tutumu	640 J·kq^-1·K^-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi	300W·m^-1·K^-1
Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10^-6K^-1