SiC örtüklü dərin UV LED sensoru

SiC örtüklü dərin UV LED sensoru effektiv və sabit dərin UV LED epitaksial təbəqənin böyüməsini dəstəkləmək üçün MOCVD prosesi üçün nəzərdə tutulmuşdur. VeTek Semiconductor, Çində SiC örtüklü dərin UV LED sensorunun aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Bizim zəngin təcrübəmiz var və bir çox LED epitaksial istehsalçıları ilə uzunmüddətli əməkdaşlıq əlaqələri qurmuşuq. Biz LED-lər üçün həssas məhsulların ən yaxşı yerli istehsalçısıyıq. İllərlə yoxlamadan sonra məhsulumuzun istifadə müddəti ən yaxşı beynəlxalq istehsalçıların ömrü ilə eynidir. Sorğunuzu gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

SiC örtüklü dərin UV LED sensoru əsas daşıyıcı komponentdirMOCVD (metal üzvi kimyəvi buxar çökmə) avadanlığı. Suseptor birbaşa dərin UV LED epitaksial böyüməsinin vahidliyinə, qalınlığına nəzarət və material keyfiyyətinə təsir göstərir, xüsusən yüksək alüminium tərkibli alüminium nitridi (AlN) epitaksial təbəqəsinin böyüməsində, susseptorun dizaynı və performansı çox vacibdir.

SiC örtüklü dərin UV LED sensoru dərin UV LED epitaksiyası üçün xüsusi olaraq optimallaşdırılmışdır və sərt proses tələblərinə cavab vermək üçün istilik, mexaniki və kimyəvi ətraf mühit xüsusiyyətlərinə əsaslanaraq dəqiq şəkildə hazırlanmışdır.

VeTek Semiconductor, temperatur qradiyenti nəticəsində epitaksial təbəqənin qeyri-bərabər böyüməsinin qarşısını alaraq, sensorun iş temperaturu diapazonunda vahid istilik paylanmasını təmin etmək üçün qabaqcıl emal texnologiyasından istifadə edir. Dəqiq emal səthin pürüzlülüyünə nəzarət edir, hissəciklərin çirklənməsini minimuma endirir və vafli səthlə təmasda istilik keçiriciliyinin səmərəliliyini artırır.

VeTek yarımkeçiricimaterial kimi SGL qrafitindən istifadə edir və səthi emal edirCVD SiC örtüyü, NH3, HCl və yüksək temperatur atmosferinə uzun müddət davam edə bilən. VeTek Semiconductor-un SiC ilə örtülmüş dərin UV LED sensoru AlN/GaN epitaksial vaflilərin termal genişlənmə əmsalına uyğun gəlir, proses zamanı termal gərginlik nəticəsində vafli əyilmə və ya çatlamağı azaldır.

Ən əsası, VeTek Semiconductor-un SiC örtüklü dərin UV LED sensoru əsas MOCVD avadanlığına (o cümlədən Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius və s.) mükəmməl uyğunlaşır. Vafli ölçüsü (2~8 düym), vafli yuvasının dizaynı, proses temperaturu və digər tələblər üçün fərdiləşdirilmiş xidmətləri dəstəkləyir.

Tətbiq ssenariləri:

● Dərin UV LED hazırlığı: 260 nm-dən aşağı diapazonda olan cihazların epitaksial prosesinə tətbiq olunur (UV-C dezinfeksiya, sterilizasiya və digər sahələr).

● Nitrid yarımkeçirici epitaksiyası: Qallium nitridi (GaN) və alüminium nitridi (AlN) kimi yarımkeçirici materialların epitaksial hazırlanması üçün istifadə olunur.

● Tədqiqat səviyyəsində epitaksial təcrübələr: Dərin UV epitaksiyası və universitetlərdə və elmi-tədqiqat müəssisələrində yeni materialın inkişafı təcrübələri.

Güclü texniki komandanın dəstəyi ilə VeTek Semiconductor müştərilərin ehtiyaclarına uyğun olaraq unikal spesifikasiyalara və funksiyalara malik sensorlar hazırlamağa, xüsusi istehsal proseslərini dəstəkləməyə və uzunmüddətli xidmətlər göstərməyə qadirdir.

CVD SIC QAPLAMA FİLMİNİN SEM MƏLUMATLARI:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xüsusiyyətləri:

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak	Tipik Dəyər
Kristal strukturu	FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
SiC örtük sıxlığı	3,21 q/sm³
CVD SiC örtüyü Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl ölçüsü	2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq	99.99995%
İstilik tutumu	640 J·kq^-1· K^-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi	300W·m^-1· K^-1
Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10^-6K^-1