Yarımkeçirici termal çiləmə texnologiyası

Yarımkeçirici termal çiləmə texnologiyası, örtük yaratmaq üçün ərimiş və ya yarı ərimiş vəziyyətdə olan materialları substratın səthinə səpən qabaqcıl prosesdir. Bu texnologiya yarımkeçiricilərin istehsalı sahəsində geniş istifadə olunur, əsasən substratın səthində keçiricilik, izolyasiya, korroziyaya davamlılıq və oksidləşmə müqaviməti kimi xüsusi funksiyaları olan örtüklər yaratmaq üçün istifadə olunur. Termal çiləmə texnologiyasının əsas üstünlükləri arasında yüksək səmərəlilik, idarə olunan örtük qalınlığı və yaxşı örtük yapışması daxildir, bu da onu yüksək dəqiqlik və etibarlılıq tələb edən yarımkeçiricilərin istehsal prosesində xüsusilə vacib edir.

Yarımkeçiricilərdə termik çiləmə texnologiyasının tətbiqi

Plazma şüası ilə aşındırma (quru aşındırma)

Adətən, plazma və elektronlar və yüksək kimyəvi cəhətdən aktiv neytral atomlar və molekullar kimi yüklü hissəcikləri ehtiva edən plazma aktiv hissəcikləri yaratmaq üçün parıldayan boşalmanın istifadəsinə aiddir, onlar həkk olunacaq hissəyə yayılır, həkk olunmuş materialla reaksiya verir, uçucu əmələ gətirir. məhsullar çıxarılır və bununla da naxış ötürülməsinin aşındırma texnologiyası tamamlanır. Bu, ultra irimiqyaslı inteqral sxemlərin istehsalında incə naxışların fotolitoqrafiya şablonlarından vaflilərə yüksək dəqiqliklə ötürülməsini həyata keçirmək üçün əvəzolunmaz bir prosesdir.

Cl və F kimi çoxlu sayda aktiv sərbəst radikallar əmələ gələcək. Yarımkeçirici cihazları aşındırdıqda, alüminium ərintiləri və keramika struktur hissələri də daxil olmaqla, avadanlıqların digər hissələrinin daxili səthlərini korroziyaya uğradırlar. Bu güclü eroziya çoxlu sayda hissəciklər əmələ gətirir ki, bu da nəinki istehsal avadanlığının tez-tez saxlanılmasını tələb edir, həm də aşındırma prosesi kamerasının sıradan çıxmasına və ağır hallarda cihazın zədələnməsinə səbəb olur.

Y2O3 çox sabit kimyəvi və istilik xüsusiyyətləri olan bir materialdır. Onun ərimə nöqtəsi 2400 ° C-dən çoxdur. Güclü aşındırıcı mühitdə sabit qala bilər. Onun plazma bombardmanına qarşı müqaviməti komponentlərin xidmət müddətini xeyli uzada bilər və aşındırma kamerasındakı hissəcikləri azalda bilər.

Əsas həll, aşındırma kamerasını və digər əsas komponentləri qorumaq üçün yüksək təmizlikli Y2O3 örtüyünü püskürtməkdir.