VeTek Semiconductor, Çində SiC örtük istehsalçısının yenilikçisidir. VeTek Semiconductor tərəfindən təmin edilən Pre-Heat Ring Epitaksiya prosesi üçün nəzərdə tutulmuşdur. Xammal kimi vahid silisium karbid örtüyü və yüksək keyfiyyətli qrafit materialı ardıcıl çökməni təmin edir və epitaksial təbəqənin keyfiyyətini və vahidliyini yaxşılaşdırır. Sizinlə uzunmüddətli əməkdaşlıq qurmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Pre-Heat Ring, yarımkeçirici istehsalında epitaksial (EPI) prosesi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış əsas avadanlıqdır. Epitaksial böyümə boyunca temperaturun sabitliyini və vahidliyini təmin edərək, EPI prosesindən əvvəl vafliləri əvvəlcədən qızdırmaq üçün istifadə olunur.
VeTek Semiconductor tərəfindən istehsal olunan EPI Pre Heat Ring bir sıra diqqətəlayiq xüsusiyyətlər və üstünlüklər təklif edir. Birincisi, yüksək istilik keçiriciliyi olan materiallardan istifadə edərək, vafli səthinə sürətli və vahid istilik ötürülməsinə imkan verir. Bu, qaynar nöqtələrin və temperatur gradientlərinin yaranmasının qarşısını alır, ardıcıl çökməni təmin edir və epitaksial təbəqənin keyfiyyətini və vahidliyini artırır.
Bundan əlavə, bizim EPI Pre Heat Ring qabaqcıl temperatur nəzarət sistemi ilə təchiz olunub və bu, əvvəlcədən isitmə temperaturuna dəqiq və ardıcıl nəzarət etməyə imkan verir. Bu nəzarət səviyyəsi EPI prosesi zamanı kristal artımı, materialın çökməsi və interfeys reaksiyaları kimi mühüm addımların dəqiqliyini və təkrarlanmasını artırır.
Davamlılıq və etibarlılıq məhsul dizaynımızın vacib aspektləridir. EPI Pre Heat Ring uzun müddət ərzində sabitliyi və performansını qoruyaraq yüksək temperaturlara və iş təzyiqlərinə tab gətirmək üçün qurulmuşdur. Bu dizayn yanaşması texniki xidmət və dəyişdirmə xərclərini azaldır, uzunmüddətli etibarlılığı və əməliyyat səmərəliliyini təmin edir.
EPI Pre Heat Ring-in quraşdırılması və istismarı sadədir, çünki o, ümumi EPI avadanlığı ilə uyğun gəlir. O, rahatlığı və əməliyyat səmərəliliyini artıran, istifadəçi dostu vafli yerləşdirmə və axtarış mexanizminə malikdir.
VeTek Semiconductor-da biz müştərilərin xüsusi tələblərinə cavab vermək üçün fərdiləşdirmə xidmətləri də təklif edirik. Bura unikal istehsal ehtiyaclarına uyğunlaşdırmaq üçün EPI Pre Heat Ring-in ölçüsünü, formasını və temperatur diapazonunu uyğunlaşdırmaq daxildir.
Epitaksial böyümə və yarımkeçirici cihaz istehsalı ilə məşğul olan tədqiqatçılar və istehsalçılar üçün VeTek Semiconductor tərəfindən EPI Pre Heat Ring müstəsna performans və etibarlı dəstək təmin edir. O, yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməyə nail olmaq və səmərəli yarımkeçirici cihaz istehsal proseslərini asanlaşdırmaq üçün vacib bir vasitə kimi xidmət edir.
CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri | |
Əmlak | Tipik Dəyər |
Kristal strukturu | FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü |
Sıxlıq | 3,21 q/sm³ |
Sərtlik | 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük) |
Taxıl Ölçüsü | 2 ~ 10μm |
Kimyəvi Saflıq | 99.99995% |
İstilik tutumu | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimasiya temperaturu | 2700 ℃ |
Bükülmə Gücü | 415 MPa RT 4 nöqtəli |
Gəncin Modulu | 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃ |
İstilikkeçirmə | 300Vt·m-1·K-1 |
Termal Genişlənmə (CTE) | 4,5×10-6K-1 |