ALD Atom Qatının Çöküntü Resepti

Məkan ALD, fəza olaraq təcrid olunmuş atom təbəqəsinin çökməsi. Gofret müxtəlif mövqelər arasında hərəkət edir və hər mövqedə fərqli prekursorlara məruz qalır. Aşağıdakı rəqəm ənənəvi ALD və məkan olaraq təcrid olunmuş ALD arasında müqayisədir.

Müvəqqəti ALD,müvəqqəti olaraq təcrid olunmuş atom təbəqəsinin çökməsi. Gofret sabitlənir və prekursorlar növbə ilə kameraya daxil edilir və çıxarılır. Bu üsul vafli daha balanslaşdırılmış mühitdə emal edə bilər və bununla da kritik ölçülər diapazonuna daha yaxşı nəzarət kimi nəticələri yaxşılaşdıra bilər. Aşağıdakı rəqəm Temporal ALD-nin sxematik diaqramıdır.

Klapanı dayandırın, klapanı bağlayın. Tez-tez istifadə olunur，vakuum pompasına klapanı bağlamaq və ya vakuum pompasına dayandırma klapanını açmaq üçün istifadə edilən reseptlər.

Öncül, öncül. İstənilən çökdürülmüş filmin elementlərini ehtiva edən iki və ya daha çox, bir-birindən asılı olmayaraq, eyni anda yalnız bir prekursor olmaqla, substratın səthində növbə ilə adsorbsiya olunur. Hər bir prekursor bir təbəqə yaratmaq üçün substratın səthini doyurur. Prekursoru aşağıdakı şəkildə görmək olar.

Təmizləmə, təmizlənmə kimi də tanınır. Ümumi təmizləmə qazı, təmizləyici qaz.Atom təbəqəsinin çökməsiHər bir reaktivin parçalanması və adsorbsiya edilməsi yolu ilə nazik təbəqə yaratmaq üçün iki və ya daha çox reaktivi ardıcıl olaraq reaksiya kamerasına yerləşdirməklə nazik təbəqələrin atom təbəqələrində çökdürülməsi üsuludur. Yəni, birinci reaksiya qazı kameranın içərisinə kimyəvi çöküntü etmək üçün impulslu şəkildə verilir və fiziki olaraq bağlanmış qalıq birinci reaksiya qazı təmizlənərək çıxarılır. Sonra, ikinci reaksiya qazı da nəbz və təmizləmə prosesi vasitəsilə qismən birinci reaksiya qazı ilə kimyəvi bir əlaqə yaradır və bununla da substratda istədiyiniz filmi yatırır. Təmizləməni aşağıdakı şəkildə görmək olar.

Velosiped. Atom təbəqəsinin çökmə prosesində hər bir reaksiya qazının bir dəfə impuls və təmizlənmə vaxtı dövr adlanır.

Atom qatının epitaksiyası.Atom qatının çökməsi üçün başqa bir termin.

Trimethylaluminium, qısaldılmış TMA, trimethylaluminium. Atom qatının çökməsi zamanı TMA tez-tez Al2O3 meydana gətirmək üçün bir xəbərçi kimi istifadə olunur. Normalda TMA və H2O Al2O3 əmələ gətirir. Bundan əlavə, TMA və O3 Al2O3 əmələ gətirir. Aşağıdakı rəqəm TMA və H2O-dan prekursorlar kimi istifadə edilən Al2O3 atom təbəqəsinin çökməsinin sxematik diaqramıdır.

3-aminopropiltrietoksisilan, APTES kimi istinad edilir, 3-aminopropiltrimetoksisilan. Inatom təbəqəsinin çökməsi, APTES tez-tez SiO2 yaratmaq üçün bir xəbərçi kimi istifadə olunur. Normalda APTES, O3 və H2O SiO2 əmələ gətirir. Aşağıdakı rəqəm APTES-in sxematik diaqramıdır.