Tantal karbid texnologiyası sıçrayışı, SiC epitaksial çirklənməsi 75% azaldı?

Bu yaxınlarda Almaniyanın Fraunhofer IISB elmi-tədqiqat institutu tədqiqat və inkişaf sahəsində bir irəliləyiş əldə etdi.tantal karbid örtük texnologiyası, və CVD çökdürmə məhlulundan daha çevik və ekoloji cəhətdən təmiz olan sprey örtük məhlulu hazırlayıb və kommersiyalaşdırılıb.

Yerli vetek yarımkeçirici də bu sahədə irəliləyişlər etdi, ətraflı məlumat üçün aşağıya baxın.

Fraunhofer IISB:

Yeni TaC örtük texnologiyasının hazırlanması

KİV-in məlumatına görə, martın 5-də "Mürəkkəb yarımkeçirici", Fraunhofer IISB yeni inkişaf etdirditantal karbid (TaC) örtük texnologiyası-Takkotta. Texnologiya lisenziyası Nippon Kornmeyer Carbon Group-a (NKCG) verildi və NKCG müştəriləri üçün TaC örtüklü qrafit hissələri təmin etməyə başladı.

Sənayedə TaC örtüklərinin istehsalının ənənəvi üsulu yüksək istehsal xərcləri və uzun çatdırılma müddətləri kimi çatışmazlıqlarla üzləşən kimyəvi buxar çökdürmədir (CVD). Bundan əlavə, CVD üsulu komponentlərin təkrar qızdırılması və soyudulması zamanı TaC-nin çatlamasına da meyllidir. Bu çatlar zamanla ciddi şəkildə deqradasiyaya uğrayan və dəyişdirilməli olan əsas qrafiti ifşa edir.

Taccotta-nın yeniliyi ondan ibarətdir ki, o, yüksək mexaniki dayanıqlığa və tənzimlənən qalınlığa malik TaC örtüyü əmələ gətirmək üçün su əsaslı sprey örtük metodundan istifadə edir və bunun ardınca temperatur müalicəsi aparılır.qrafit substrat. Kaplamanın qalınlığı müxtəlif tətbiq tələblərinə uyğun olaraq 20 mikrondan 200 mikrona qədər tənzimlənə bilər.

Fraunhofer IISB tərəfindən hazırlanmış TaC proses texnologiyası aşağıda göstərildiyi kimi qalınlıq kimi tələb olunan örtük xüsusiyyətlərini 35μm ilə 110μm aralığında tənzimləyə bilər.

Xüsusilə, Taccotta sprey örtüyü də aşağıdakı əsas xüsusiyyətlərə və üstünlüklərə malikdir:

● Daha ekoloji cəhətdən təmiz: Su əsaslı sprey örtüklə bu üsul daha ekoloji cəhətdən təmizdir və sənayeləşdirilməsi asandır;

● Çeviklik: Taccotta texnologiyası CVD-də mümkün olmayan qismən örtük və komponentlərin təmirinə imkan verən müxtəlif ölçülü və həndəsi komponentlərə uyğunlaşa bilir.

● Azaldılmış tantal çirklənməsi: Taccotta örtüklü qrafit komponentləri SiC epitaksial istehsalında istifadə olunur və tantal çirklənməsi mövcud ilə müqayisədə 75% azalırCVD örtükləri.

● Aşınma müqaviməti: Cızılma testləri göstərir ki, örtük qalınlığının artırılması aşınma müqavimətini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər.

Çizilmə testi

Bildirilir ki, texnologiya yüksək məhsuldar qrafit materialları və əlaqəli məhsulların təmin edilməsinə diqqət yetirən NKCG birgə müəssisəsi tərəfindən kommersiyalaşdırılması üçün təşviq edilib. NKCG də gələcəkdə uzun müddət Taccotta texnologiyasının inkişafında iştirak edəcək. Şirkət müştərilərinə Taccotta texnologiyası əsasında qrafit komponentləri təqdim etməyə başlayıb.

Vetek Semiconductor TaC-nin lokalizasiyasını təşviq edir

2023-cü ilin əvvəlində vetek yarımkeçirici yeni nəsil təqdim etdiSiC kristal artımıistilik sahəsi materialı-məsaməli tantal karbid.

Məlumatlara görə, vetek yarımkeçiricinin inkişafında bir irəliləyiş başlatdıməsaməli tantal karbidmüstəqil texnologiya tədqiqatı və inkişafı yolu ilə böyük məsamə ilə. Onun məsaməliliyi beynəlxalq liderliyə nail olmaqla 75%-ə çata bilər.