Məsaməli Tantal Karbid: SiC kristallarının böyüməsi üçün yeni nəsil materiallar

Keçirici SiC substratlarının tədricən kütləvi istehsalı ilə prosesin sabitliyinə və təkrarlanmasına daha yüksək tələblər qoyulur. Xüsusilə, sobada istilik sahəsində qüsurların, kiçik düzəlişlərin və ya sürüşmələrin idarə edilməsi kristalın dəyişməsinə və ya qüsurların artmasına səbəb olacaqdır.

Sonrakı mərhələdə "daha sürətli, daha qalın və daha uzun böyümək" problemi ilə qarşılaşacağıq. Nəzəriyyə və mühəndisliyin təkmilləşdirilməsinə əlavə olaraq, dəstək olaraq daha təkmil istilik sahəsi materiallarına ehtiyac var. Qabaqcıl kristalları yetişdirmək üçün qabaqcıl materiallardan istifadə edin.

İstilik sahəsində qrafit, məsaməli qrafit və tantal karbid tozu kimi materialların düzgün istifadə edilməməsi artan karbon daxilolmaları kimi qüsurlara səbəb olacaqdır. Bundan əlavə, bəzi tətbiqlərdə məsaməli qrafitin keçiriciliyi kifayət deyil və keçiriciliyi artırmaq üçün əlavə dəliklər açmaq lazımdır. Yüksək keçiriciliyə malik məsaməli qrafit emal, toz itkisi və aşındırma kimi problemlərlə üzləşir.

Bu yaxınlarda VeTek Semiconductor yeni nəsil SiC kristal böyüməsi istilik sahəsi materiallarını təqdim etdi,məsaməli tantal karbid, dünyada ilk dəfə.

Tantal karbid yüksək gücə və sərtliyə malikdir və onu məsaməli etmək daha çətindir. Böyük məsaməli və yüksək təmizliyə malik məsaməli tantal karbid hazırlamaq daha çətindir. VeTek Semiconductor böyük məsaməliliyə malik sıçrayışlı məsaməli tantal karbidini işə saldı.maksimum məsaməliliyi 75% olmaqla beynəlxalq lider səviyyəyə çatır.

Bundan əlavə, qaz fazasının komponentlərinin filtrasiyası, yerli temperatur gradientlərinin tənzimlənməsi, material axını istiqamətinin istiqamətləndirilməsi, sızmaya nəzarət və s. üçün istifadə edilə bilər; müxtəlif yerli axın keçiriciliyi olan komponentlər yaratmaq üçün VeTek Semiconductor-un başqa bərk tantal karbid (sıx) və ya tantal karbid örtüyü ilə birləşdirilə bilər; bəzi komponentlər təkrar istifadə edilə bilər.

Texniki parametrlər

Məsaməlik ≤75% Beynəlxalq lider

Forma: lopa, silindrik Beynəlxalq aparıcı

Vahid məsaməlilik

VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbid (TaC) aşağıdakı məhsul xüsusiyyətlərinə malikdir

●   Çox yönlü tətbiqlər üçün məsaməlilik

TaC-nin məsaməli strukturu çoxfunksiyalılığı təmin edir və onun xüsusi ssenarilərdə istifadəsinə imkan verir, məsələn:

Qaz diffuziyası: Yarımkeçirici proseslərdə qaz axınının dəqiq idarə edilməsini asanlaşdırır.

filtrasiya: Yüksək performanslı hissəciklərin ayrılmasını tələb edən mühitlər üçün idealdır.

Nəzarət olunan istilik yayılması: Ümumi istilik tənzimləməsini gücləndirərək yüksək temperatur sistemlərində istiliyi səmərəli şəkildə idarə edir.

●   Həddindən artıq Yüksək Temperatur Müqaviməti

Təxminən 3,880 ° C ərimə nöqtəsi ilə Tantal Karbid ultra yüksək temperatur tətbiqlərində üstündür. Bu müstəsna istilik müqaviməti əksər materialların uğursuz olduğu şəraitdə davamlı performans təmin edir.

●   Üstün Sərtlik və Davamlılıq

Almaza bənzər Mohs sərtlik şkalası üzrə 9-10-cu yerləri tutan Porous TaC hətta həddindən artıq stress altında belə mexaniki aşınmaya qarşı misilsiz müqavimət nümayiş etdirir. Bu davamlılıq onu aşındırıcı mühitlərə məruz qalan tətbiqlər üçün ideal edir.

●   Müstəsna Termal Sabitlik

Tantal karbid həddindən artıq istidə struktur bütövlüyünü və performansını saxlayır. Onun diqqətəlayiq istilik sabitliyi yarımkeçiricilərin istehsalı və aerokosmik kimi yüksək temperaturda ardıcıllıq tələb edən sənayelərdə etibarlı işləməyi təmin edir.

●   Əla istilik keçiriciliyi

Məsaməli təbiətinə baxmayaraq, Məsaməli TaC səmərəli istilik ötürülməsini təmin edir və bu, sürətli istilik yayılmasının vacib olduğu sistemlərdə istifadəyə imkan verir. Bu xüsusiyyət materialın istilik tələb edən proseslərdə tətbiq qabiliyyətini artırır.

●   Ölçü sabitliyi üçün aşağı istilik genişlənməsi

Aşağı istilik genişlənmə əmsalı ilə Tantal Karbid temperatur dalğalanmalarının yaratdığı ölçü dəyişikliklərinə müqavimət göstərir. Bu xüsusiyyət istilik gərginliyini minimuma endirir, komponentlərin ömrünü uzadır və kritik sistemlərdə dəqiqliyi qoruyur.

Yarımkeçirici istehsalında məsaməli tantal karbid (TaC) aşağıdakı xüsusi əsas rolları oynayır.

●  Plazma aşındırma və CVD kimi yüksək temperatur proseslərində VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbid tez-tez emal avadanlığı üçün qoruyucu örtük kimi istifadə olunur. Bu, TaC Coating-in güclü korroziyaya davamlılığı və yüksək temperaturda dayanıqlığı ilə bağlıdır. Bu xüsusiyyətlər onun reaktiv qazlara və ya həddindən artıq temperaturlara məruz qalan səthləri effektiv şəkildə qorumasını təmin edir və bununla da yüksək temperatur proseslərinin normal reaksiyasını təmin edir.

●  Diffuziya proseslərində məsaməli tantal karbid yüksək temperatur proseslərində materialların qarışmasının qarşısını almaq üçün effektiv diffuziya maneəsi rolunu oynaya bilər. Bu xüsusiyyət tez-tez ion implantasiyası və yarımkeçirici vaflilərin təmizliyinə nəzarət kimi proseslərdə əlavə maddələrin yayılmasına nəzarət etmək üçün istifadə olunur.

●  VeTek yarımkeçirici məsaməli tantal karbidinin məsaməli strukturu dəqiq qaz axınına nəzarət və ya filtrasiya tələb edən yarımkeçirici emal mühitləri üçün çox uyğundur. Bu prosesdə Porous TaC əsasən qaz filtrasiyası və paylanması rolunu oynayır. Onun kimyəvi təsirsizliyi filtrasiya prosesində heç bir çirkləndiricinin daxil olmamasını təmin edir. Bu, emal edilmiş məhsulun təmizliyinə effektiv zəmanət verir.

VeTek Semiconductor haqqında

Çin peşəkar məsaməli tantal karbid istehsalçısı, tədarükçüsü, fabriki olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması və ya Çin istehsalı olan qabaqcıl və davamlı məsaməli tantal karbid almaq istəsəniz, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.

Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsaMəsaməli tantal karbid、Tantal karbid örtüklü məsaməli qrafitvə digərTantal karbid örtüklü komponentlər, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏E-poçt: anny@veteksemi.com