CVD SiC Pancake Susceptor

Üstün fiziki xüsusiyyətlər

VeTek yarımkeçirici CVD SiC Pancake Susceptor əla davamlılığı və həddindən artıq temperatur uyğunlaşmasını təmin etmək üçün ən son kimyəvi buxar çökmə (CVD) texnologiyasından istifadə edərək istehsal edilmişdir. Onun əsas fiziki xüsusiyyətləri aşağıdakılardır:

● İstilik sabitliyi: CVD SiC-nin yüksək istilik sabitliyi yüksək temperatur şəraitində sabit performansı təmin edir.

● Aşağı istilik genişlənmə əmsalı: Material son dərəcə aşağı istilik genişlənmə əmsalına malikdir, bu da temperaturun dəyişməsi nəticəsində yaranan əyilmə və deformasiyanı minimuma endirir.

● Kimyəvi korroziyaya davamlılıq: Əla kimyəvi müqavimət ona müxtəlif sərt mühitlərdə yüksək performansı saxlamağa imkan verir.

Dəqiq dəstək və optimallaşdırılmış istilik ötürülməsi

VeTekSemi-nin Pancake Susceptor əsaslı SiC örtülməsi yarımkeçirici vafliləri yerləşdirmək və epitaksial çökmə zamanı əla dəstək vermək üçün nəzərdə tutulmuşdur. SiC Pancake Susceptor müxtəlif temperatur və təzyiq şəraitində əyilmə və deformasiyanı minimuma endirmək üçün qabaqcıl hesablama simulyasiya texnologiyasından istifadə etməklə hazırlanmışdır. Onun tipik istilik genişlənmə əmsalı təxminən 4.0 × 10^-dir^-6/°C, bu o deməkdir ki, onun ölçü sabitliyi yüksək temperaturlu mühitlərdə ənənəvi materiallardan əhəmiyyətli dərəcədə yaxşıdır və bununla da vafli qalınlığının ardıcıllığını təmin edir (adətən 200 mm-dən 300 mm-ə qədər).

Bundan əlavə, CVD Pancake Susceptor 120 Vt/m·K qədər istilik keçiriciliyi ilə istilik ötürmədə üstündür. Bu yüksək istilik keçiriciliyi tez və effektiv şəkildə istilik keçirə bilər, soba daxilində temperaturun vahidliyini artıra, epitaksial çökmə zamanı vahid istilik paylanmasını təmin edə və qeyri-bərabər istiliyin səbəb olduğu çökmə qüsurlarını azalda bilər. Optimallaşdırılmış istilik ötürmə performansı çöküntü keyfiyyətinin yaxşılaşdırılması üçün vacibdir ki, bu da proses dalğalanmalarını effektiv şəkildə azalda və məhsuldarlığı yaxşılaşdıra bilər.

Bu dizayn və performans optimallaşdırmaları vasitəsilə VeTek Semiconductor-un CVD SiC Pancake Susceptoru yarımkeçiricilərin istehsalı üçün möhkəm zəmin yaradır, sərt emal şəraitində etibarlılıq və ardıcıllığı təmin edir və müasir yarımkeçirici sənayesinin yüksək dəqiqlik və keyfiyyət üçün ciddi tələblərinə cavab verir.

CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak	Tipik Dəyər
Kristal strukturu	FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
Sıxlıq	3,21 q/sm³
Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl Ölçüsü	2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq	99.99995%
İstilik tutumu	640 J·kq-1·K-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi	300W·m-1·K-1
Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10-6K-1