CVD SiC örtüklü Epitaksi qəbuledicisi

VeTek Semiconductor-un CVD SiC Örtük Epitaksiya Hədiyyəsi yarımkeçirici vaflilərin işlənməsi və emalı üçün nəzərdə tutulmuş dəqiqliklə hazırlanmış alətdir. Bu SiC Coating Epitaxy Susceptor nazik təbəqələrin, epilayerlərin və digər örtüklərin böyüməsini təşviq etməkdə mühüm rol oynayır və temperaturu və material xüsusiyyətlərini dəqiq idarə edə bilir. Əlavə sorğularınız üçün xoş gəlmisiniz.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

CVD SiC Kaplama Epitaxy Susceptor bir növüdürMOCVD LED Epi Susseptor, CVD reaktorunda mərkəzi rol oynayır. Epi Susceptor olaraq, o, təkcə istilik mənbəyi deyil, həm də çökmə prosesi zamanı substrat üçün sabit dəstək platforması təmin edir.SiC örtükyüksək temperaturlu mühitlərdə Qrafit Susseptorunun oksidləşməsini və çirklənməsini effektiv şəkildə azalda bilər və bununla da yığılmış materialın yüksək saflığını təmin edir.

ƏsasCVD SiC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri:

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak	Tipik Dəyər
Kristal strukturu	FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
Sıxlıq	3,21 q/sm³
Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl ölçüsü	2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq	99.99995%
İstilik tutumu	640 J·kq^-1·K^-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi	300W·m^-1·K^-1
Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD SiC Örtük Epitaksi Susceptor Məhsulun Üstünlükləri:

● Dəqiq yerləşdirmə: CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ilə siz yüksək keyfiyyətli və təkrarlanan nəticələr əldə etmək üçün nazik təbəqələrin və örtüklərin dəqiq idarə olunan çökməsinə nail ola bilərsiniz.

● Azaldılmış çirklənmə: SiC örtüyü çirklənmə riskini minimuma endirirEpi Suceptoryatırılan materialın təmizliyini təmin edən Qrafit əsaslıdır.

● Davamlılıq: SiC örtüyü Graphite Epitaxy Susceptor-un oksidləşmə müqavimətini və kimyəvi korroziyaya davamlılığını artırır, ona daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək etibarlılıq verir.

VeTek yarımkeçiriciyüksək keyfiyyətli məhsullar və rəqabətqabiliyyətli qiymətlər təqdim etməyə sadiqdir. İstər olsunƏgər EPI Alıcısıvə ya Yüksək təmizlikli Graphite EPI Susceptor, biz sizin ehtiyaclarınızı ödəyə bilərik. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

VeTek yarımkeçiriciCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Məhsul mağazaları: