VeTek yarımkeçirici yarımkeçirici sənayesi üçün Tantal Karbid Kaplama materiallarının aparıcı istehsalçısıdır. Əsas məhsul təkliflərimizə CVD tantal karbid örtük hissələri, SiC kristallarının böyüməsi üçün sinterlənmiş TaC örtük hissələri və ya yarımkeçirici epitaksiya prosesi daxildir. ISO9001-dən keçdi, VeTek Semiconductor keyfiyyətə yaxşı nəzarət edir. VeTek Semiconductor davamlı tədqiqat və təkrarlanan texnologiyaların inkişafı vasitəsilə Tantal Karbid Kaplama sənayesində yenilikçi olmağa həsr edilmişdir.
Əsas məhsullar bunlardırTantal karbid örtüklü defektor halqası, TaC örtüklü təxribat halqası, TaC örtülmüş yarımay hissələri, Tantal karbidlə örtülmüş planet fırlanma diski (Aixtron G10), TaC örtüklü pota; TaC örtüklü üzüklər; TaC örtüklü məsaməli qrafit; Tantal Karbid Kaplama Qrafit Susseptor; TaC örtüklü bələdçi halqası; TaC tantal karbid örtüklü lövhə; TaC ilə örtülmüş vafli suseptor; TaC örtük halqası; TaC Coating Graphite Cover; TaC örtüklü yığınvə s., təmizlik 5ppm-dən aşağıdır, müştəri tələblərinə cavab verə bilər.
TaC örtüklü qrafit yüksək təmizlikli qrafit substratının səthinin xüsusi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) prosesi ilə incə tantal karbid təbəqəsi ilə örtülməsi ilə yaradılmışdır. Üstünlük aşağıdakı şəkildə göstərilmişdir:
Tantal karbid (TaC) örtüyü 3880°C-ə qədər yüksək ərimə nöqtəsi, əla mexaniki gücü, sərtliyi və termal şoklara qarşı müqaviməti ilə diqqəti cəlb edir və onu daha yüksək temperatur tələbləri ilə mürəkkəb yarımkeçirici epitaksiya proseslərinə cəlbedici alternativ edir. Aixtron MOCVD sistemi və LPE SiC epitaksi prosesi kimi. O, həmçinin PVT metodu SiC kristal artım prosesində geniş tətbiqinə malikdir.
●Temperatur sabitliyi
●Ultra yüksək təmizlik
●H2, NH3, SiH4, Si-yə qarşı müqavimət
●Termal ehtiyata qarşı müqavimət
●Qrafitə güclü yapışma
●Konformal örtük örtüyü
● 750 mm diametrə qədər ölçü (Çində yeganə istehsalçı bu ölçüyə çatır)
● İnduktiv isitmə sensoru
● Rezistiv qızdırıcı element
● İstilik qoruyucusu
TaC örtüyünün fiziki xassələri | |
Sıxlıq | 14,3 (q/sm³) |
Xüsusi emissiya | 0.3 |
Termal genişlənmə əmsalı | 6.3 10-6/K |
Sərtlik (HK) | 2000 HK |
Müqavimət | 1×10-5Ohm*sm |
İstilik sabitliyi | <2500 ℃ |
Qrafit ölçüsü dəyişir | -10~-20um |
Kaplama qalınlığı | ≥20um tipik dəyər (35um±10um) |
Element | Atom faizi | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Orta | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |