TaC örtüklü bələdçi üzüklər

Çində TaC Coating Guide Rings məhsullarının aparıcı istehsalçısı olaraq, VeTek Semiconductor TaC örtüklü bələdçi üzükləri MOCVD avadanlığının mühüm komponentləridir, epitaksial böyümə zamanı dəqiq və sabit qaz çatdırılmasını təmin edir və yarımkeçirici epitaksial artımda əvəzsiz materialdır. Bizimlə məsləhətləşməyə xoş gəlmisiniz.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

TaC Kaplama Bələdçi Halqalarının funksiyası:

Dəqiq qaz axını nəzarəti: TheTaC örtüklü bələdçi halqasıqaz vurma sistemi daxilində strateji mövqedədirMOCVD reaktoru. onun əsas funksiyası prekursor qazların axını istiqamətləndirmək və onların substratın vafli səthi boyunca vahid paylanmasını təmin etməkdir. Qaz axınının dinamikasına bu dəqiq nəzarət vahid epitaksial təbəqənin böyüməsinə və istənilən material xüsusiyyətlərinə nail olmaq üçün vacibdir.

Termal İdarəetmə: TaC Örtük Bələdçi Üzükləri qızdırılan həssas və substrata yaxın olduqlarına görə tez-tez yüksək temperaturlarda işləyir. TaC-nin əla istilik keçiriciliyi istiliyi effektiv şəkildə dağıtmağa kömək edir, lokal həddindən artıq istiləşmənin qarşısını alır və reaksiya zonasında sabit temperatur profilini saxlayır.

MOCVD-də TaC-nin üstünlükləri:

Ekstremal Temperatur Müqaviməti: TaC 3800°C-dən yuxarı bütün materiallar arasında ən yüksək ərimə nöqtələrindən birinə malikdir.

Görkəmli Kimyəvi İnertlik: TaC, ammonyak, silan və müxtəlif metal-üzvi birləşmələr kimi MOCVD-də istifadə olunan reaktiv prekursor qazların korroziyaya və kimyəvi hücumuna müstəsna müqavimət göstərir.

Fiziki xassələriTaC örtüyü:

Fiziki xassələriTaC örtüyü
Sıxlıq	14,3 (q/sm³)
Xüsusi emissiya	0.3
Termal genişlənmə əmsalı	6.3*10^-6/K
Sərtlik (HK)	2000 HK
Müqavimət	1×10^-5Ohm*sm
İstilik sabitliyi	<2500 ℃
Qrafit ölçüsü dəyişir	-10~-20um
Kaplama qalınlığı	≥20um tipik dəyər (35um±10um)

MOCVD Performansı üçün üstünlüklər:

MOCVD avadanlıqlarında VeTek yarımkeçirici TaC Kaplama Bələdçi Halqasının istifadəsi aşağıdakılara əhəmiyyətli dərəcədə kömək edir:

Artan Avadanlıqların İstifadə müddəti: TaC Coating Guide Ring-in davamlılığı və uzadılmış ömrü tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır, texniki xidmətin dayanma müddətini minimuma endirir və MOCVD sisteminin əməliyyat səmərəliliyini artırır.

Təkmilləşdirilmiş Proses Sabitliyi: TaC-nin istilik sabitliyi və kimyəvi təsirsizliyi MOCVD kamerası daxilində daha sabit və idarə olunan reaksiya mühitinə kömək edir, proses dəyişikliklərini minimuma endirir və təkrar istehsal qabiliyyətini artırır.

Təkmilləşdirilmiş epitaksial təbəqənin vahidliyi: TaC Kaplama Bələdçi Halqaları ilə asanlaşdırılan dəqiq qaz axını nəzarəti prekursorun vahid paylanmasını təmin edir, nəticədə yüksək vahid olurepitaksial təbəqənin böyüməsiardıcıl qalınlığı və tərkibi ilə.

Tantal karbid (TaC) örtüyümikroskopik en kəsiyində:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

Qaynar Teqlər: TaC Kaplama Bələdçi Üzükləri, İstehsalçı, Təchizatçı, MOCVD üçün TaC Örtük Üzük, Fərdiləşdirilmiş, TaC Kaplama Bələdçi Üzük, Davamlı, Çin istehsalı

Məhsul etiketi

Əlaqədar Kateqoriya