Sürətli termal yumşaldıcı ləvazimat

VeTek Yarımkeçirici Sürətli Termal Yuvlama Qapağı yüksək keyfiyyətli və uzun ömürlüdür, bizi sorğulamağa xoş gəlmisiniz.

Sürətli Termal Təmizləmə (RTA) yarımkeçirici cihazların istehsalında istifadə olunan Sürətli Termal Emalın mühüm alt dəstidir. Bu, müxtəlif hədəflənmiş istilik müalicələri vasitəsilə elektrik xüsusiyyətlərini dəyişdirmək üçün fərdi vaflilərin qızdırılmasını nəzərdə tutur. RTA prosesi qatqı maddələrinin aktivləşdirilməsinə, film-film və ya plyonka-vafli substrat interfeyslərinin dəyişdirilməsinə, yığılmış filmlərin sıxlaşdırılmasına, böyüdülmüş film vəziyyətlərinin dəyişdirilməsinə, ion implantasiyasının zədələnməsinin təmirinə, qatqı materialının hərəkətinə və filmlər arasında əlavə maddələrin hərəkətinə imkan verir. və ya vafli substrata.

VeTek Yarımkeçirici məhsulu, Sürətli Termal Yuvlama Suseptoru, RTP prosesində mühüm rol oynayır. O, inert silisium karbiddən (SiC) qoruyucu örtüyə malik yüksək təmizlikli qrafit materialdan istifadə etməklə tikilmişdir. SiC ilə örtülmüş silikon substrat 1100°C-ə qədər olan temperaturlara tab gətirə bilir, hətta ekstremal şəraitdə də etibarlı performansı təmin edir. SiC örtüyü məhsulun uzunömürlülüyünü təmin edərək, qaz sızmasına və hissəciklərin tökülməsinə qarşı əla qoruma təmin edir.

Dəqiq temperatur nəzarətini saxlamaq üçün çip SiC ilə örtülmüş iki yüksək təmizlikli qrafit komponenti arasında kapsullaşdırılır. Dəqiq temperatur ölçmələri inteqrasiya edilmiş yüksək temperatur sensorları və ya substratla təmasda olan termocütlər vasitəsilə əldə edilə bilər.

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xüsusiyyətləri:

VeTek yarımkeçiricilər istehsalı sexi

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: