VeTek Semiconductor-un Yarımkeçiricilər üçün PSS Aşınma Daşıyıcı Plitəsi vafli ilə işləmə prosesləri üçün nəzərdə tutulmuş yüksək keyfiyyətli, ultra təmiz qrafit daşıyıcısıdır. Daşıyıcılarımız əla performansa malikdir və sərt mühitlərdə, yüksək temperaturda və sərt kimyəvi təmizləmə şəraitində yaxşı çıxış edə bilir. Məhsullarımız bir çox Avropa və Amerika bazarlarında geniş istifadə olunur və biz Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Peşəkar istehsalçı olaraq biz sizə yarımkeçiricilər üçün yüksək keyfiyyətli PSS aşındırma daşıyıcı lövhə təqdim etmək istərdik. VeTek Semiconductor-un Yarımkeçiricilər üçün PSS Aşınma Daşıyıcı Plitəsi yarımkeçirici sənayesində Plazma Mənbə Spektroskopiyası (PSS) aşındırma prosesi üçün istifadə olunan ixtisaslaşmış komponentdir. Bu boşqab aşındırma prosesi zamanı yarımkeçirici vaflilərin dəstəklənməsi və daşınmasında mühüm rol oynayır. Bizi sorğulamağa xoş gəlmisiniz!
Dəqiq Dizayn: Yarımkeçirici vaflilər arasında vahid və ardıcıl aşındırılmasını təmin etmək üçün daşıyıcı lövhə dəqiq ölçülər və səthin hamarlığı ilə hazırlanmışdır. O, vaflilər üçün sabit və idarə olunan platforma təmin edərək, dəqiq və etibarlı aşındırma nəticələrini əldə etməyə imkan verir.
Plazma Müqaviməti: Daşıyıcı lövhə aşındırma prosesində istifadə olunan plazmaya qarşı əla müqavimət göstərir. O, reaktiv qazlardan və yüksək enerjili plazmadan təsirlənmir, uzun xidmət müddətini və ardıcıl performansını təmin edir.
İstilik keçiriciliyi: Daşıyıcı lövhə, aşındırma prosesi zamanı yaranan istiliyi səmərəli şəkildə dağıtmaq üçün yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir. Bu, optimal temperatur nəzarətini saxlamağa kömək edir və yarımkeçirici vaflilərin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını alır.
Uyğunluq: PSS Aşınma Daşıyıcı Plate sənayedə geniş istifadə olunan müxtəlif yarımkeçirici vafli ölçüləri ilə uyğun olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur, müxtəlif istehsal proseslərində çox yönlülük və istifadə asanlığını təmin edir.
CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri | |
Əmlak | Tipik Dəyər |
Kristal strukturu | FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü |
Sıxlıq | 3,21 q/sm³ |
Sərtlik | 2500 Vickers sərtliyi (500 q yük) |
Taxıl Ölçüsü | 2 ~ 10μm |
Kimyəvi Saflıq | 99.99995% |
İstilik tutumu | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimasiya temperaturu | 2700 ℃ |
Bükülmə Gücü | 415 MPa RT 4 nöqtəli |
Gəncin Modulu | 430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃ |
İstilikkeçirmə | 300Vt·m-1·K-1 |
Termal Genişlənmə (CTE) | 4,5×10-6K-1 |