CVD SiC kimyəvi buxarın çökdürülməsi ilə istehsal olunan yüksək təmizlikli silisium karbid materialıdır. Əsasən yarımkeçirici emal avadanlıqlarında müxtəlif komponentlər və örtüklər üçün istifadə olunur. Aşağıdakı məzmun məhsulun təsnifatı və CVD SiC-nin əsas funksiyalarına girişdir
Daha çox oxuYarımkeçiricilər istehsalı sənayesində cihazın ölçüsü kiçilməyə davam etdikcə, nazik film materiallarının çökdürülməsi texnologiyası görünməmiş problemlər yaratdı. Atom qatının çökməsi (ALD), atom səviyyəsində dəqiq nəzarətə nail ola bilən nazik təbəqə çökmə texnologiyası olaraq, yarımkeçirici isteh......
Daha çox oxuİnteqral sxemlər və ya yarımkeçirici cihazları mükəmməl kristal əsas təbəqədə qurmaq idealdır. Yarımkeçiricilər istehsalında epitaksiya (epi) prosesi tək kristalli substratda adətən təxminən 0,5-20 mikron olan incə bir kristal təbəqənin çökdürülməsi məqsədi daşıyır. Epitaksiya prosesi yarımkeçirici ......
Daha çox oxu